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    [讨论]离子源问题 [复制链接]

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    离线gaofei5588
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-05-21
    离子源的Beam ,ACC,RF和RFN之间有什么联系以及它们各自的名称和作用
     
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    离线mcgraw
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-04-02
    顶一下,同问这个问题
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    只看该作者 2楼 发表于: 2022-05-11
    顶一下,同问这个问题
    离线18844167969
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    只看该作者 3楼 发表于: 2022-08-29
    离子辅助沉积 WL'P)lI5  
    离线ouyuu
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    只看该作者 4楼 发表于: 2022-08-31
    光弛原理和新柯隆差不多。 ;cQ6g` bM\  
    vvm0t"|\  
    就新柯隆来讲:三片栅网,从下到上为ACC,SUP,GND (;q;E\Ej q  
    ACC加1000V左右电压,离子从放电室(石英碗)挤出之后,靠ACC获得初速度。 ;72T|e  
    SUP加-300-700V左右电压,防止电子进入放电室。 dxmE3*b`  
    GND就是接地,并起到保护SUP电极的作用。(东西掉在栅网上不会造成短路,打火) Bro9YP4<  
    \Cii1\R=  
    中和器T脚加1000V脉冲打火,电子足够多后发生电离连锁反应。 UXh9:T'%  
    然后K脚(阴极产生电子)和A脚(阳极拉出电子)加上电压,通过调节A脚电压调节电子数量。
    离线ouyuu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2022-08-31
    射频没啥好讲的,就是产生一个震荡的电磁场,让带电颗粒受电磁场影响不断在放电室震荡。 } q$ WvY/  
    带电颗粒震荡时有更大的几率碰撞到气体分子,使其电离,这样连锁反应就产生了。
    离线李某
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    只看该作者 6楼 发表于: 2023-12-17
    感谢大佬分享 3J5!oF{H