[转载]VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

摘要 Vl7V?`_4  
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在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 tjZS:@3 Z  
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