[转载]VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

摘要 Ox^:)ii  
Txo@U  
在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 j&WL*XP&5  
[(|^O>k8c  
3[r";Wt#  
建模任务 Hd*}k6  
ltoqtB\s  
9x?B5Ap[  
结果 [![ G7H%f  
Y9u;H^^G  
Ea4_Qmn  
结果 qgx?"$ Z  
X D) 8?  
结果 1}}>Un`U5,  
{^J!<k,R\;  
]9*;;4Mg  
文件信息 'a#mViPTQ)  
U]1(&MgV  
mRwT_(;t  
Best wishes, P]Xbjs<p  
行销部 17621763047（微信同号） v0#*X5C1'  
--------------------------------------------------------------------- ^,TTwLy-t  
讯技光电科技（上海）有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技（香港）有限公司 \5TxE  
上海市普陀区武威路88弄（中鑫企业广场）21号楼A座2楼邮编：200333 B76 v}O:  
Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号：17621763047  Fax: +86-21-6486 0709 OP%?dh]  
Email: david@infotek.com.cn   Web:www.infotek.com.cn  www.infocrops.com
Hm fXe  
--------------------------------------------------------------------- ,gMy@  
讯技光电2018年度课程上线，欢迎点击以下链接查阅，或来信索取完整版年度课程PDF档: (e9fm|n!)|  
http://www.honglun-seminary.com/2018/ Y%Ieg.o