摘要
%c-T Gr, 9:4m@dguh- 在
半导体产业中，晶片检测
系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微
结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的
物镜，工作在紫外
波长范围。作为一个例子，
模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。
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