[转载]VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

摘要 JbXd9AMh2  
S)=3%toS>  
在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 \,-e>  
Y [%<s/  
L(t!C~3  
建模任务 nIf~ds&TT  
!6*m<#Qm  
H_d^Xk QZ  
结果 BL1d=%2R  
/#g P#Z%  
MWJ}  
结果 f yhBfA:u  
w,eW?b  
结果 0rCQz3gh1  
|wGmu&fY  
7&3
  
文件信息 YWF Hv@  
aXh~w<5F  
FqXE6^  
Best wishes, p&k%d, *  
行销部 17621763047（微信同号） \/F*JPhy  
--------------------------------------------------------------------- ^50\c$  
讯技光电科技（上海）有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技（香港）有限公司 DAf0bh"  
上海市普陀区武威路88弄（中鑫企业广场）21号楼A座2楼邮编：200333 O 4'/C]B2  
Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号：17621763047  Fax: +86-21-6486 0709 ;C,t`(  
Email: david@infotek.com.cn   Web:www.infotek.com.cn  www.infocrops.com 8'#L+$O &N  
--------------------------------------------------------------------- a7n`(}?Y  
讯技光电2018年度课程上线，欢迎点击以下链接查阅，或来信索取完整版年度课程PDF档: "X \Yp_g  
http://www.honglun-seminary.com/2018/ t_w2J=2