[转载]VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

摘要 :<E\&6# oC  
>U')ICD~  
在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 bR|1*<  
'd|E>8fejG  
Ty"=3AvRLV  
建模任务 /pnQKy.  
Ix|^c268o<  
Qx !! Ttd{  
结果 >oc&hT  
%Z6\W; (n  
+jz%:D  
结果 JB\BP$ap  
.(8eWc YK  
结果 =)y=39&;/  
_<G%  
}=^Al;W  
文件信息 $^"_Fox]A\  
cK+y3`.0  
O\qY?)  
Best wishes, KdTna6nY  
行销部 17621763047（微信同号） QCk(qlN'h9  
--------------------------------------------------------------------- b'~IFNt*^  
讯技光电科技（上海）有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技（香港）有限公司
J*CfG;Y:  
上海市普陀区武威路88弄（中鑫企业广场）21号楼A座2楼邮编：200333 mdD9Q N01  
Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号：17621763047  Fax: +86-21-6486 0709 -)ag9{*  
Email: david@infotek.com.cn   Web:www.infotek.com.cn  www.infocrops.com *;C8g{  
--------------------------------------------------------------------- Ty>g:#bogI  
讯技光电2018年度课程上线，欢迎点击以下链接查阅，或来信索取完整版年度课程PDF档: lEv<n6:_  
http://www.honglun-seminary.com/2018/ eFeWjB'<7