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'I 在
半导体产业中,晶片检测
系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微
结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的
物镜,工作在紫外
波长范围。作为一个例子,
模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。
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c 建模任务 2G?$X? [*<.?9n)or B={/nC}G~ 结果 uJgI<l'|e3 pA<eTlH Q uB+vL 结果 ~z5@V5z
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Best wishes, H)E^!eo 行销部 17621763047(微信同号) u)v$JpNE --------------------------------------------------------------------- {7qA &c= 讯技光电科技(上海)有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技(香港)有限公司 Ox^:)ii 上海市普陀区武威路88弄(中鑫企业广场)21号楼A座2楼邮编:200333 P.cO6+jGR Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号:17621763047 Fax: +86-21-6486 0709 bp#fyG" Email: david@infotek.com.cn Web:www.infotek.com.cn www.infocrops.com pYt/378w --------------------------------------------------------------------- &UL_bG}
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