[转载]VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

摘要 a8N!jQc_m  
)z aMycW  
在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 3K'3Xp@A  
GV9"8MZ6  
e'jR<ln|  
建模任务 eRf8'-"#-  
oxRu:+N
 
BH}u\K  
结果 ev; &$Hc  
BKIt,7j  
UkdQ#b1  
结果 5=dg4"b]  
j8PK\j[  
结果 Z/0M9 Q%  
Un<~P@T%  
N>/U%01a  
文件信息 `aJ[ !O  
N=wB1gJ  
}/=VnCfU  
Best wishes, 'd28YjtoX  
行销部 17621763047（微信同号） ;%U`P8b!  
--------------------------------------------------------------------- qvT9d7x  
讯技光电科技（上海）有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技（香港）有限公司 #):FXB$a  
上海市普陀区武威路88弄（中鑫企业广场）21号楼A座2楼邮编：200333 )qKfTtN`  
Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号：17621763047  Fax: +86-21-6486 0709 }NUP[%
  
Email: david@infotek.com.cn   Web:www.infotek.com.cn  www.infocrops.com rR7}SEa  
--------------------------------------------------------------------- +pE-Yn`YS  
讯技光电2018年度课程上线，欢迎点击以下链接查阅，或来信索取完整版年度课程PDF档: L.8-nTg"y  
http://www.honglun-seminary.com/2018/ 4g6d6~098;