摘要 Nr#Y]9nA :EUV#5V. 傅里叶模态方法(FMM)可用于严格分析
光栅效率。在VirtualLab中,您可以设置光栅
系统,执行严格分析,并以不同的形式呈现结果(如光栅级次收集、单值……)。与
参数运行结合,您也可以扫描给定的参数空间,研究不同配置下指定
结构的性能。对于参数运行结果的评估,几个评估工具能够让您对您的
光学装置有最好的了解。
-CTsB)=\, <IF\;,.c ?Z<2zm%qV 建模任务 's]+.3">L1 o6} +5 t?-7Z6 结果 6$'6x2, `P `nqn 极坐标图 MRB>(} 用于光栅透射和反射效率的
投影可视化
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` 透射结果 TwZvz[u [xXml On! @UO=)PxN3 级次收集 vWJhSpC[ 相对于如
衍射级次、
角度等,效率或其它量的显示
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