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    [转载]不同轮廓亚波长光栅的成像 [复制链接]

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    离线讯技david
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-04-10
    1. 摘要 x{Dw?6TP  
    7+hc?H[&'  
    亚光波长光栅在用傍轴光照射时仅产生一个衍射级，因此在这种情况下不会形成图像。 为了克服此问题，可以使用非傍轴照明。在本例中，高NA聚光透镜被用来为不同轮廓的光栅提供高聚焦照明，衍射场被另一个高NA物镜收集。 VirtualLab可以模拟这种成像过程，包括用傅立叶模态法精确模拟亚波长光栅。 Xh/BVg7$  
    Z J1@z.  
    2. ·建模任务 L&uPNcZ`-  
    <i`s)L  
    <54KWC86)J  
    3. 结果 x;LO{S4Z  
    5D XBTpCVM  
    %Q;:nVt  
    4. 文件和技术信息 =@X?$>'  
     
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