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    [转载]不同轮廓亚波长光栅的成像 [复制链接]

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    离线讯技david
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-04-10
    1. 摘要 \5q0nB@i5y  
    9u^yEqG`  
    亚光波长光栅在用傍轴光照射时仅产生一个衍射级，因此在这种情况下不会形成图像。 为了克服此问题，可以使用非傍轴照明。在本例中，高NA聚光透镜被用来为不同轮廓的光栅提供高聚焦照明，衍射场被另一个高NA物镜收集。 VirtualLab可以模拟这种成像过程，包括用傅立叶模态法精确模拟亚波长光栅。 iYR`|PJi  
    KrzIL[;2o  
    2. ·建模任务 ~1g)4g~  
    q Xj]O3 mm  
    'X(Sn3  
    3. 结果 Tsc2;I  
    `}o{o  
    |j w{7\+  
    4. 文件和技术信息 i[r>^U8O  
     
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