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    三篇光学系统方面的资料 [复制链接]

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    离线yufei2006
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2006-11-29
    用像差逐项优化法装调离轴三反射镜光学系统     uPe4Rr  
        在对复杂光学系统粗装调完成之后,利用自准干涉检验的办法,采集光学系统各视场的干涉图,然后用干涉条纹分析软件算出整个系统波前误差,其量值用泽尼克系数来表示,通过泽尼克系数与系统的波像差的关系,判断要调整的目标值,即当前在光学系统中占主导地位的波前误差,对主导误差优化,得到系统的失调量,由光学设计软件确定其正确后,进行一次精密装调.然后进行多次这样的计算机迭代和优化,直到光学系统达到最好的调整状态.运用此方法来装调大口径,长焦距离轴三反射镜系统,在波长λ等于632.8 nm时,该离轴三反射镜系统中心视场波像差均方根值达到了0.094λ,+1°视场和-1°视场的均方根值分别为0.106λ和0.125λ. ~4Is   
    wxZnuCO%H8  
    偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调 U'LO;s04m  
        针对极紫外投影光刻(Extreme Ultraviolet Lithography,简称EUVL)工作波长短的特点及由此带来的一些问题,对EUVL微缩投影物镜的结构参数进行分析选择,设计了离轴照明方式的Schwarzschild微缩投影成像物镜.利用基于奇异值分解的牛顿迭代法对敏感矩阵进行分解,求出相应失调量的大小,以实现系统的精密装调. k>{i_`*  
    =ox#qg.5  
    离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法  e4NT  
      介绍计算机辅助装调方法在离轴照明EUVL光学系统中的应用,阐述了一种基于奇异值分解(SVD)的牛顿迭代法来求解失调量.利用该方法对敏感矩阵进行分解,从中分析得到影响不同像差的结构参数的敏感性,并筛选出补偿器,求出相应失调量的大小.在此基础上进行多次模拟装调,证明各种情况都是收敛的,可以实现精密装调的目的.
    描述:用像差逐项优化法装调离轴三反射镜光学系统
    附件: 用像差逐项优化法装调离轴三反射镜光学系统.pdf (342 K) 下载次数:72
    描述:偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调
    附件: 偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调.pdf (162 K) 下载次数:64
    描述:离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法
    附件: 离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法.pdf (446 K) 下载次数:64
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    cyqdesign 金钱 +6 - 2006-11-29
     
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    离线focus
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    只看该作者 1楼 发表于: 2006-11-30
    Thanks
    离线等待
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    只看该作者 2楼 发表于: 2006-11-30
    好的 ,谢谢了,俺证学习这方面的东西呢
    离线fuwahana
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    只看该作者 3楼 发表于: 2006-12-04
    谢谢了,下下来看看
    离线fuwahana
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    只看该作者 4楼 发表于: 2006-12-04
    Thanks  
    离线mjs99
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    只看该作者 5楼 发表于: 2006-12-08
    下来看看.      
    离线aaoe
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    只看该作者 6楼 发表于: 2006-12-08
    下来学习学习.
    离线fuwahana
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    只看该作者 7楼 发表于: 2006-12-12
    谢谢了,下下来看看
    离线xiaofeng10
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    只看该作者 8楼 发表于: 2006-12-18
    thanks!thanks!
    离线my_boygame
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    只看该作者 9楼 发表于: 2007-07-04
    thanks