切换到宽版

Zemax光学设计从入门到精通	《杂散光抑制与评估技术》	Zemax光学设计实践基础(陈家璧)	光学设计与光学元件
讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商	先进光刻机曝光系统光学设计	CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape	计算光学带来的成像革命(第2季)

2676阅读
3回复

[求助]像差分析 [复制链接]

上一主题下一主题

离线kjj0817

发帖: 88

光币: 224

光券: 0

只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2018-02-24

— 本帖被 cyqdesign 从新手上路移动到本区(2018-02-24) —

关键词：像差图像球差

单看点列图，是不是慧差特别大，还存在严重的球差及像散？这个该如何改进图像质量呢？

本主题包含附件，请登录后查看, 或者注册成为会员

分享到

离线kimclps

助理工程师

发帖: 589

光币: 1155

光券: 0

只看该作者 1楼发表于: 2018-02-26

設置的有效半徑(semi-diameter)已經連軸上光線都遮蔽到了。以所貼資料看
不出來Entrance pupil值，但stop所在的第3面應該是>3mm。

离线kjj0817

发帖: 88

光币: 224

光券: 0

只看该作者 2楼发表于: 2018-02-27

回 kimclps 的帖子

kimclps:設置的有效半徑(semi-diameter)已經連軸上光線都遮蔽到了。以所貼資料看 1SSS0&
不出來Entrance pupil值，但stop所在的第3面應該是>3mm。
(2018-02-26 21:14) cSYMnB

您好，请教下怎么看出来的连轴上的光线都遮蔽到了呢？点列图我还不太会分析，求指点~

离线kimclps

助理工程师

发帖: 589

光币: 1155

光券: 0

只看该作者 3楼发表于: 2018-03-03

回 kjj0817 的帖子

kjj0817:您好，请教下怎么看出来的连轴上的光线都遮蔽到了呢？点列图我还不太会分析，求指点~ (2018-02-27 10:24) fNz(z\

Layout圖中應可見軸上光線被遮蔽的現象。
或在System=>Field Data處Set Vignetting 也可見軸上的係數不為零。