[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 "]*0)h_  
1-r1hZ-  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 T9RR. ng  
hP`3Ao  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ C%}FVO\c  
JT[|l-\zo  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 ]#j]yGV  
1f~unb\Gg  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) O7g ?x3  
鍍5Q膜厚 A Ns.`S  
先以macleod求出基板N與K
3PIZay  
再求出藥材N與K z4HIDb  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? TUHm.!+a  
&|yQwNA*a"  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? GKT2x '(e  
YXz*B5R  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 l r80RL'_  

R= ,jqW<  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ .c__<I<G<  
Y-!~x0-H  
再來 wpgO09  
jf&B5>-x  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? W>f q 9  
<A|X4;  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 F6 mc
<n  
Y-2IAJHS8  
說到這邊其實還是要確定你的手法 %+ln_lgD:  
)/HbmtXqI  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? gu?e%]X3  
9mE6Cp.Wv  
你可能連基板都不對咧!! AWaptw_p*  
ga?:k,xv  
去確認一下吧! 有問題再提出