[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 )o)<5Iqh  
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怎么才可以获取正确的材料N值和K值 O=UXe]D  
.gTla  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ ~$n4Yuu2[  
E^w2IIw  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 Q\Dx/?g!vx  
.?R~!K{`  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) "fK`F/  
鍍5Q膜厚 -e<d//>  
先以macleod求出基板N與K I\e?v`e  
再求出藥材N與K {!!
df.h  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? wQ1_Q8:Z  
Xjb 4dip  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? ?O(@BT  
b"D? @dGB,  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 &6]+a4  
UI:YzR  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ }f rij1/G  
7D'-^#S5  
再來 'XW[uK]w)  
HCBZ*Z-  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? jA'qXc+\  
&d,chb(  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 {u!Q=D$3  
vjo@aY.x  
說到這邊其實還是要確定你的手法 3[q&%Z.  
F; upb5  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? Za,MzKd=  
a[e&O&Z  
你可能連基板都不對咧!!
+Dvdv<+  
yf|,/{S  
去確認一下吧! 有問題再提出