[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 x)hp3&L  
Q<y&*o3YF|  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 <B;l).[6  
+G3&{#D ?  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ [Ng#/QXk{  
_RFTm.9&  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 RNyw`>  
1)aB']K%  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) nz:I\yA  
鍍5Q膜厚 Lrgv:n  
先以macleod求出基板N與K }qlU  
再求出藥材N與K >&m
lwxqv  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? 8munw  
Hzs]\%"  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? 5inmFT?9Z  
Q#8}p
Bw  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 O7|0t\)  
:9N~wd  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ ',k0_n?t  
(#FWA<o  
再來 bj4cW\b(  
_sIhQ8$:  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? ri&B%AAc  
z5-vx`  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 y6ntGrZ}$  
; mF-y,E  
說到這邊其實還是要確定你的手法 2@ vSe  
)tGeQXVhbJ  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? cUssF%ud]  
;:Q 5?zM  
你可能連基板都不對咧!! zRPXmu{t  
qy=4zOOD#  
去確認一下吧! 有問題再提出