[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 "qwRcuHY  
SX*os$  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 #Dy;x\a  
{_Ke'" k  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ } |sP;Rpu  
PJb_QL!9  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 ~tz[=3!1H  
AbfLV942  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) nw\p3  
鍍5Q膜厚 5%G+
+oLXf  
先以macleod求出基板N與K &I d^n  
再求出藥材N與K 5X~ko>  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? <F!:dyl  
j*6!7u.,K  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? }hBv?B2/1  
zV2c`he%z  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 4CN8>J'-  
Q"Bgr&RJ  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ 3K#e]zoI  
1,pg:=N9  
再來 OB"QWdh  
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({03$  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? f[ER`!  
$~`(!pa:  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 4/d#)6  
s"Kp+tTWj  
說到這邊其實還是要確定你的手法 xK_$^c.  
(+Uo;)~!YC  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? WcUeWGC>  
|kVxrq  
你可能連基板都不對咧!! q#WqU8~Y  
[PQG]"  
去確認一下吧! 有問題再提出