[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 G)""^YB-  
?w)A`G_  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 kC'm |Y@T  
~fO#En  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ 9  I&[6}  
R!rMrWX  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 Fo]]j=  
'qeUI}[  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) r\} O{ZO  
鍍5Q膜厚  <XnxAA  
先以macleod求出基板N與K JOki4N  
再求出藥材N與K o6r ^  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? 4)d#dy::\  
74%Uojl"  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? /k^O1+]H  
{`[u XH?3d  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 z%L\EP;o}  
>2< Jb!f&  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ Iy{&T#e"  
J<7nOB}OD  
再來
I~7eu&QZ  
%|By ?i  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? >)iCKx
 
,"4  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 },t
n
 
8'Bik  
說到這邊其實還是要確定你的手法 N>+L?C  
wqf^n-Ze  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? KEvT."t  
4[m4u6z=  
你可能連基板都不對咧!! o2NU~Ub  
Kyq/o-
  
去確認一下吧! 有問題再提出