[求助]高反膜机差问题 [复制链接]

求助大神，LED芯片背镀DBR高反膜，同样的膜系，不同的光驰新旧机台作业后亮度有差异，到底是什么造成的？？

DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  aC=['a>)  

Rhgj&4  
氧化硅和氧化钛

有試著量測表面粗糙度嗎(使用AFM之類的) 6DF  
L_O$>c  
若有差異，可能要比對一下背景壓力、鍍率等等 #B}?Zg  
I+?hG6NM  

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  o#hI5  

C7"HQQ  
鍍膜的DBR就是介電質的反射鏡 w9&#~k]5  
_n O.-  
主要利用高低折射率1/4波長去堆疊而成 WStnzVe  
=:7$/T'Qg  
會依照每個客戶針對的波長去做設計 $Xf(^K  
R 1zC.m  
可應用在LED 激光 等等

怀疑是排气能力差异。 *g7DPN$aQ  
开镀真空一样吗？都开充氧了吗？充氧压力多少？

好的，谢谢～

开镀真空一样，充氧压力为1.93E-2Pa

如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 $ I<|-]u  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 In(NF#
 
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 1uM/2sX  

ouyuu:如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 $'y1Po'2  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 v$Dh.y  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 VAt>ji7c  
 (2018-02-03 18:13)  QdirE4W  

(w}r7`n  
单层的PEAK对比过，确实是有差异的，关键是怎样调节折射率和吸收呢？