[求助]高反膜机差问题 [复制链接]

求助大神，LED芯片背镀DBR高反膜，同样的膜系，不同的光驰新旧机台作业后亮度有差异，到底是什么造成的？？

DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  aK_k'4YTm  

_Fn`G.r<  
氧化硅和氧化钛

有試著量測表面粗糙度嗎(使用AFM之類的) GZHJ4|DK  
^go3F{;4i  
若有差異，可能要比對一下背景壓力、鍍率等等 wCV~9JTJ!  
2Q7X"ek~[  

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  1_]%,  

L@_o*"&j  
鍍膜的DBR就是介電質的反射鏡 ZG{#CC
=  
WS?Y8~+{5  
主要利用高低折射率1/4波長去堆疊而成 _^ic@h3'X~  
B-"F67:  
會依照每個客戶針對的波長去做設計 2$VSH&  
e**'[3Y  
可應用在LED 激光 等等

怀疑是排气能力差异。 tA'5ufj*:  
开镀真空一样吗？都开充氧了吗？充氧压力多少？

好的，谢谢～

开镀真空一样，充氧压力为1.93E-2Pa

如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 Qv;b$by3  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 </SO#g^r<  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 sqjDh  

ouyuu:如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 GK3cQw  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 @Yw42`>!s  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 Mi}k>5VT  
 (2018-02-03 18:13)  VmXXj6l&  

<^ratz!-  
单层的PEAK对比过，确实是有差异的，关键是怎样调节折射率和吸收呢？