[求助]高反膜机差问题 [复制链接]

求助大神，LED芯片背镀DBR高反膜，同样的膜系，不同的光驰新旧机台作业后亮度有差异，到底是什么造成的？？

DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  Ct$82J  

KsAH]2Q%  
氧化硅和氧化钛

有試著量測表面粗糙度嗎(使用AFM之類的) _BnTv$.P  
Q/_[--0&#  
若有差異，可能要比對一下背景壓力、鍍率等等 " oy\_1|  
j{#Wn !,  

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  ?#[)C=p]z  

W04av_u 5  
鍍膜的DBR就是介電質的反射鏡 4^Qi2[w  

^KHLBSc:  
主要利用高低折射率1/4波長去堆疊而成 n`5WXpz4;  
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lY ut  
會依照每個客戶針對的波長去做設計 U~is-+Uq  
IvU{Xm"qB  
可應用在LED 激光 等等

怀疑是排气能力差异。 Y}1P~  
开镀真空一样吗？都开充氧了吗？充氧压力多少？

好的，谢谢～

开镀真空一样，充氧压力为1.93E-2Pa

如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 TQ~&Y)".  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 #Y: ~UVV  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 =#'+"+lQ }  

ouyuu:如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 p3{x<AO/  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 Cca~Cq[%*(  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 Ax :3}  
 (2018-02-03 18:13)  U#OWUZ  

#_JA5W+E  
单层的PEAK对比过，确实是有差异的，关键是怎样调节折射率和吸收呢？