[求助]高反膜机差问题 [复制链接]

求助大神，LED芯片背镀DBR高反膜，同样的膜系，不同的光驰新旧机台作业后亮度有差异，到底是什么造成的？？

DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  cQ8[XNa  

EA"hie7  
氧化硅和氧化钛

有試著量測表面粗糙度嗎(使用AFM之類的) ,lZ19B?WP  
[`n_> p!  
若有差異，可能要比對一下背景壓力、鍍率等等 4ag
W<c#  
qM\ 2f<)  

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  -P;3BHS$T  

W@R7CQE@  
鍍膜的DBR就是介電質的反射鏡 @)pC3Vi^  
+hRy{Ps/  
主要利用高低折射率1/4波長去堆疊而成 |8` }8vo)  
M5I`
i{Gw  
會依照每個客戶針對的波長去做設計 F_@B ` ,  
x
6cG'3&T  
可應用在LED 激光 等等

怀疑是排气能力差异。 j/t%7,  
开镀真空一样吗？都开充氧了吗？充氧压力多少？

好的，谢谢～

开镀真空一样，充氧压力为1.93E-2Pa

如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 RQ=rB9~:ZN  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 du$lS':`  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 I'xc$f_+  

ouyuu:如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 Jv 5l   
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 O:+y/c  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 )6XnxBSH  
 (2018-02-03 18:13)  I;AS.y  

Y,mo}X<>  
单层的PEAK对比过，确实是有差异的，关键是怎样调节折射率和吸收呢？