[求助]高反膜机差问题 [复制链接]

求助大神，LED芯片背镀DBR高反膜，同样的膜系，不同的光驰新旧机台作业后亮度有差异，到底是什么造成的？？

DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  Z*/{^ zsE  

)l?1dR:sP  
氧化硅和氧化钛

有試著量測表面粗糙度嗎(使用AFM之類的) !]f80z  
q)j b9e   
若有差異，可能要比對一下背景壓力、鍍率等等 +FomAs1*f  
h4p<n&)F  

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  C'~Eq3  

)\KU:_l  
鍍膜的DBR就是介電質的反射鏡 bL`>#M_^  
^jbjHI&  
主要利用高低折射率1/4波長去堆疊而成 mzRH:HgN?  
)%q!XM  
會依照每個客戶針對的波長去做設計 Qz4eQlWhp  
' !2NSv  
可應用在LED 激光 等等

怀疑是排气能力差异。 ;V?3Hwl  
开镀真空一样吗？都开充氧了吗？充氧压力多少？

好的，谢谢～

开镀真空一样，充氧压力为1.93E-2Pa

如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 ^M1jv(  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 PMi.)%++  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 # 0d7
  

ouyuu:如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 a^^OI|?  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 @\:@_}Z`_}  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 t'yh&44_  
 (2018-02-03 18:13)  VD $PoP  

Z%b1B<u$  
单层的PEAK对比过，确实是有差异的，关键是怎样调节折射率和吸收呢？