[求助]高反膜机差问题 [复制链接]

ouyuu:怀疑是排气能力差异。 DGdSu6s$  
开镀真空一样吗？都开充氧了吗？充氧压力多少？ (2018-02-02 09:16)  ~^=QBwDW8N  

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开镀真空一样，都是2E-3Pa，都开充氧了，目前最主要问题是稳定性不好，有些Run次镀出来是OK的，有些就不好，不知道是哪里造成的稳定性差

dcfcwdx:[表情]单层的PEAK对比过，确实是有差异的，关键是怎样调节折射率和吸收呢？ (2018-03-03 22:41)  7qq}wR]]  

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是什么差异呢？整体向上偏移？还是波峰更高，波谷更低？ BZ<Q.:)  
如果是吸收，那就改善充氧。 ZJ'#XZpr  
如果是折射率差异，那就改变蒸发速率。 5Q,#Co  

ouyuu:是什么差异呢？整体向上偏移？还是波峰更高，波谷更低？ '!^5GSP3&  
如果是吸收，那就改善充氧。 cw|3W]  
如果是折射率差异，那就改变蒸发速率。 1`J-|eH=Q  
 (2018-03-06 13:05)  )0UVT[7  

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镀TiO2单层来比较是，较差的机台的波峰低，波谷高，也就是峰谷差小，还有，改善充氧就是改变APC压力吗？

dcfcwdx:镀TiO2单层来比较是，较差的机台的波峰低，波谷高，也就是峰谷差小，还有，改善充氧就是改变APC压力吗？ (2018-03-13 20:40)  D2}N6i  

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看起来像是折射率问题。 y buKwZFC  
你这边用离子源辅助吗？ 4^uQB(}Z  
如果有，就改变一下离子源参数 V'b$
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如果没有，就改一下电子枪速率看看。

ouyuu:看起来像是折射率问题。 OwCbv j0#  
你这边用离子源辅助吗？ j-cp  
如果有，就改变一下离子源参数 a[_IG-l|i4  
如果没有，就改一下电子枪速率看看。 (2018-03-15 23:35)  R53^3"q~  

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既然是折射率差异，那就直接按照两台机各自的折射率重新设计一下膜系不就好了么；如果要变更速率，那折射率不也一样跟着变了，变量不就多了么。

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机台不一样，折射率是有差异的，这个差异在镀膜厚是就明显

奔跑的小骏马:既然是折射率差异，那就直接按照两台机各自的折射率重新设计一下膜系不就好了么；如果要变更速率，那折射率不也一样跟着变了，变量不就多了么。 (2018-03-23 11:51)  Ph%{h"  

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一般不建议改膜系，膜系不一致会带来更多问题。 c:e3hJ  
而且随着设备使用，说不定折射率还会变的，你就不停改膜系？ F3qCtx*N  
折射率则简单很多，找到影响折射率的因素这才是关键。 ^r-d.1  
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其实也不叫变更速率，水晶设置有一项叫TOOLING，这个TOOLING值改变一下就相当于改了速率。

现在膜系成熟了没有？？