[求助]高反膜机差问题 [复制链接]

求助大神，LED芯片背镀DBR高反膜，同样的膜系，不同的光驰新旧机台作业后亮度有差异，到底是什么造成的？？

DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  h<i.Z7F;tj  

k#G+<7c<  
氧化硅和氧化钛

有試著量測表面粗糙度嗎(使用AFM之類的) ceAefKdb  
Kir|in)r0  
若有差異，可能要比對一下背景壓力、鍍率等等 AjINO}b  
LG'1^
W{a  

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  OgkbN`  

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鍍膜的DBR就是介電質的反射鏡 /(bn+l}W  
2^&5D,}
0  
主要利用高低折射率1/4波長去堆疊而成 _2WIi/6K  
T4}q%%7l  
會依照每個客戶針對的波長去做設計 BF]+fs`  
[?#-JIZ3T  
可應用在LED 激光 等等

怀疑是排气能力差异。 C-ipxL"r  
开镀真空一样吗？都开充氧了吗？充氧压力多少？

好的，谢谢～

开镀真空一样，充氧压力为1.93E-2Pa

如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 QOY M/1U  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 .=4k'99,  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 d/`Q,Vl  

ouyuu:如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 y`OL^D4  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 !w9w{dtW=  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 a5AD$bP  
 (2018-02-03 18:13)  V=v7<I=]  

JBKCa 3  
单层的PEAK对比过，确实是有差异的，关键是怎样调节折射率和吸收呢？