2，电子枪的知识（机械）
>Uw:cq 电子枪机械部分主要就是指真空室内的电子枪本体及坩埚盘。
pey=zR! N d].(_ 1，冷却
$G".PWc 电子枪因为功率高，所以一般都是水冷。
{ ADd[V 水一旦在真空室内泄露会造成很严重的故障甚至事故。
{DRk{>K, 所以一定要防止空打。（会打穿坩埚盘）
#*o0n>O 防止空打的措施有：
mtmC,jnD 1，限制镀膜的最高电流
gXxi ; g 2，限制镀膜的最长时间
"`>6M&`U 3，坩埚放置及确认的制度（提前准备好装药的坩埚，放置在显眼处，关门前后的确认……）
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}K i#'K7X M2 2，枪头
[d`E9&Hv3 枪头是指灯丝及周边那部分，因为温度高，离材料近，枪头非常容易沾污，需要及时保养更换。
YnEyL2SuU 这部分国内国外零部件价格差异极大。所以也是假冒伪劣的重灾区。
Tqt-zX|> 如发现外观尺寸不佳，光斑不稳定，电子枪电流不稳甚至打火，枪头及灯丝寿命短等问题，请及时怀疑买到了假货，多安装几次确认一下就可以投诉了。
danPy2 比如日本电子的270度枪头，假货成本也就几百元。
g(@F`W[ 真货厂家出厂价最低也要7000多。
yaR>?[h y98FEG #S} 3，坩埚盘
J :O!4gI 坩埚盘分为点状和环形，环形坩埚比较省药品但不能灵活切换。
\u,CixV= 坩埚盘常见故障有卡死，偏位，速度不稳定等。
UY3)6}g6 定位方式一般采用码盘定位和电机定位。根据定位方式不同，对坩埚位置要采取不同方式进行调整。
{KG}m'lx 3"h*L8No 4，挡板
i!a!qE. 1 挡板是非常重要的零部件，挡板设置不好会影响镀膜效果。
t]h_w7!U 挡板高度越低越好，以电子枪束流打不打为限，可以用铝膜包覆挡板，然后开电子枪的最低电流做实验。
G"/;Cq=t 铝膜溶破就代表打到了，然后再往上调30mm左右。
eC-& .Fl 挡板速度越快越好，但以不打到其他部件，不掉药渣为限。
Nf| 0O\+%y 新柯隆一般为1秒。
QLJ \> 挡板的打开及关闭位置的确认：坩埚中心点放一小灯（手机或者小头灯，越低越好）
L1SX2 F8 然后手动打开和关闭挡板，打开时伞架上无阴影，关闭是伞架上无照亮。
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*_\V 5，故障
y!b"Cj 电子枪原理简单，所以一般故障较少。
jj{:=l ZB 多数故障是由于保养不良等原因造成的。
Y2L{oQ.C2 要注意高压导入的裸铜丝，枪头下面的底座陶瓷也属于耗材，最好每年更换一次。
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)>: 否则因为铜丝损耗（特别是压接处，会少量蒸发导致铜丝变细，接触不良）
W sHD Ip 底座陶瓷绝缘变差造成故障。
d:'{h"M6 另外电子枪本体内有永磁铁，时间长了磁铁磁性变化也会造成一些变化，
TAYh#T=S 此时可通过调整电子枪电源内的电位器来矫正。
tj;47UtH 还有，电子枪电源通常会放在泵房，所以每年大修的时候，
;P S4@, 最好拆开护板用吸尘器打扫一下，毕竟几千伏高压的东西，
^(q .f=I!a 太脏了会严重影响寿命及稳定性。
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