示例.0082(1.0)
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' Q;?_,` 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
g he=mQ- +^% &8 < 1. 描述
gT\y & ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
uu46'aT ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
zdQu%q ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
`[HoxCV3o t2%bHIG} 2. 系统
/3: IE%o K d|l\k! 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
sOtNd({ 3. 透镜系统组件编辑
)<&CnK #(w z l ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
:^.8 7>V7 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
vkauX :M ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
9g,L1 W*
■ 包括序列光学表面和光学介质。
!z6/.>QJ~ >|&OcU 4. 光线追迹系统分析器-选项
$;j6 *,H VDI S`E 8X~vJ^X9@y ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
kQiW 5 ■ 可以选择选取光线的方法：
/r 2.j3:l — 在x-y-网格
VH1c)FI — 六边形
ve/6-J!5Y. — 自由选取
-tdON ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
ra#) *fG,~ + OuG!3+w 5. 系统的3维视图
lNnbd?D8 u2Z^iY 
T {J`t*Ym 6. 其他系统参数
J+*Y)k ■ 系统由单色平面波
照明 uN^qfJ'@
> ■ 照明波长266.08nm
{qdhp_~^l ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
`U>b6 {K — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
vM;dPE7 — 一个虚拟屏位于焦平面
;;J98G|1 —
光束尺寸探测器置于焦平面
1+ARV&bc ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
)C0X]? p :n^c5 7. 光线追迹系统分析器的结果
@x>2|`65Y lcJumV=%> 光线经过整个光学系统的三维视图
tg`!svL! 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
ee?M o` 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
$GK m `I" r*xw\ i(;u6Rk ■ VirtualLab可用于计算点列图。
@Sd:]h:f- ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
Uwil*Jh ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
!oRm.c O ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
2gI_*fG1 E|#R0n* 9. 焦平面上的结果
rKO*A7vE 8$olP:d 5"]2@@b4 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
r:Tb{cA ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
]ZATER)jq ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
KPcu GJ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
W {/z-& ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
cCCplL r1? FH2Ns 10. 总结
vrDRSc6_ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
~7H.<kJt ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
oeKc-[r ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
DfF PGFv ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
Q 8E~hgO i^KYZ4/% （来源：讯技光电）
