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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 x:`"tJa VNxhv!w 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) mP-Y9*k
[?VkwFD0 所需工具:Grating Toolbox Basic @-aMj e!1am%aE 相关Tutorials:G.001; G.014 /"7_75
t 建模任务 !mu1e=bY> w72\' 理想平面波照射 ^:^8M4: )L$)qfQ~x ^7V{nT@H3 C{FE*@U. pXoT@[} c7t . 镀膜倾斜光栅 DM3 %+ xY 目标平面 JnXVI!+JDL &K-0ld(; 周期:10um t@3y9U$ 厚度:10um >
ZKHjw 倾斜角度:20度 FYX"q-Z ?9:~d#p 光栅的参数 L(_bf/@3 9wpV} .( —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 W$Op/ 75*q^ui —填充因子 2—后面的介质 QK(w2` —膜层厚度 3—膜层材料 LAU\.d —光栅厚度 ] 5:0.$5 &4jc3_UKV HkdBPMs79 jLF,R7t TX$4x~: 2~)r,., 设置层数和转折点 {9<c*0l Xx
e07J~ dNT<![X\ 2 设置层数和转折点以确定膜层 i
3i zF#:Uc`C5U e&ci\x% 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 Hm
17El68 y}GFtRNG hmr 2(f%U 实现可编程光栅 +$
0wBU \??20iz bDT@E,cSi o' Kl+gw4 $`6Q\=*R/ ]@hN&W(+ x 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ID8u&: /DoSU>%hK JbXd9AMh2 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) bSj-xxB]e }ISc^W) t ytyB:# J v&8s>~i`K '0
J*9 TWSx9ii!M: 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) (svKq(X IT:8k5(L5j kKz>]t"A 2 双击Data Series Diagram nr- 32u Fb\ E39 采样结果 4{CeV7 Tga%-xr+ 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. 1}ws@hU w5*
Z\t5 QQ:2987619807
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