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    • 光学手册（上、下册，李景镇） 光学元件微纳制造与精密检测技术 京东6.18购物红包，每天领三次！ 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    技术专家
     
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    4741
    光币
    18081
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： ^|h5*Tb  
     /h/f&3'h  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； C26vH#C  
     ]Q?`|a+i  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 } Mh@%2$  
     mM6g-)cV  
    结构设计 3<5E254N  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 Ek0zFnb[Gx  
     ]u;Ma G=;  
    R`)^eqB  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 ~Y- !PZ  
     \S]"nHX  
         B@v\tpR  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 .X D.'S  
     HnDz4eD  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 x,f=J4yco  
    ZGstD2 N$  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 -k$*@Hq  
     L4fM?{Ic:s  
    [M:ag_rm+f  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 4G:?U6  
    jFa{h!  
    Bz&6kRPv  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 pZpAb+  
     4 _*^~w  
    'p%\fb6`  
    +[ +4h}?  
    导出加工数据 ;IN!H@bq  
     m|:O:<  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) DEdJH4  
     3#=%2\  
    lT`y=qR|  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 15o<'4|=Lm  
     1@xmzTC  
    /S}4J"  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 tWBfIHiha  
           /QA:`_</oh  
    /< OoZf+[  
    <{t*yMr   
    **oa R  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 fyRSg B00$  
    -E*VF{IG1  
    q y]tuKZI  
    >I9w|z FA  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 }bU1wIW9I  
     4pYscB  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 .(RX;.lw  
    5:oteNc3  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 _TGv"c@V  
    !Vtj:2PQL  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 <)f1skJsP  
    6~:eO(pK l  
    OoG Nij  
    导出加工数据列表 u$vA9g4  
     m1d*Lt>F@  
    a#U2y"  
    +7`7cOqXg  
    导入加工数据 RotWMGNK  
      T:~c{S4&  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI uR;m<wPH,f  
     z 1~2w:  
    ^ UB*Q  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) bu}N{cW  
     ##_`)/t,  
    ;,OZ8g)LH  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) =>y%Aj&4  
    Te\i;7;4u  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 kMCg fL  
     '}F=U(!  
    x{o&nhuk[S  
    _J N$zZ{  
    s<GR ?  
    Q5kf-~Jx+  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 SU8vz/\%y  
    rV5QKz6'  
    BEfP#h=hr  
    6) 导入完成，观察3D视图 xE0'eC5n^  
     @xq jAcfg  
    B %L dH  
    (8XP7c]5  
    ?Dr_WFNjO  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 d i;Fj  
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