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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 C k/_UY| X, JWLS J 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） uz#eO|z@o kj<D 4) 所需工具：Grating Toolbox Basic tsSS31cv 1
">d|oC 相关Tutorials：G.001; G.014 w E8a 4. 建模任务 dPy BY ]` }Nd`;d
理想平面波照射 oX:1 qJrC Z,8+@ VATXsD  tE9_dR^K {KpH| i 0@mX4.! 镀膜倾斜光栅 bh; b `
5 目标平面 RwE*0 T \dxW44sM 周期：10um sKB -7 厚度：10um /nD0hb 倾斜角度：20度 2cX"#."5p M:1F@\< 光栅的参数 sKG ~<8M} lJ>QTZH!wW —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 &"j).Ogm4 Uc4 L|: —填充因子 2—后面的介质 @<w9fzi —膜层厚度 3—膜层材料 Mp=kZs/ —光栅厚度 TLL[F;uZ 9snyX7/!L J%O4IcE  8yo6v3JqC
|>o0d~s "/K&qj 设置层数和转折点 Ag-?6v @tv];t + x ;ML  2 设置层数和转折点以确定膜层 DneSzq O"o O]%m{afM t1{%FJ0F 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 uI-7 6 C7 &
6rUX W.6 JnYLQ& 实现可编程光栅 ) }it,< J0*]6oD! ; R|#ae@  @Jn:!8U0
!9<RWNKV)Y < iprPk 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） F+y `4> x  53+rpU_ ]E8 <;t)# 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） qpwh #^ 2 acju!,G !%\To (r[ Q3O . <9S  SnF[mN' 674oL, 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） >8fz ?A  >0+|0ba A"3&Euv U 2 双击Data Series Diagram [o N> : dVG UhXN 6 采样结果 a&c#* 9t{  Am?Hkh2
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. NU nc"@ Z
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QQ：2987619807
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