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    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    技术专家
     
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    4741
    光币
    18081
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： ?%J{1+hY  
     .iNPLz1  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； 7^4F,JuJO  
     qsk8#  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 ( {ads_l  
     oj /:  
    结构设计 Q/o !&&  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 "Sz pFw  
     US A!N  
    Yv\.QrxPm  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 ,i lVt  
     JhRXfIK>{  
         * xdS<  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 rlqn39  
     L:"i,K#P  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 X[\b!<C  
    TK<~ (Dk  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 7^P!@o$v!  
     QkBT, c  
    }A3(g$8KR  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 {y0#(8-&  
    Mt(wy%{zK  
    ^B8%Re%  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 Y O;N9wu3f  
     ( >zXapb2  
    vi')-1Y KM  
    pV]m6! y&  
    导出加工数据 :uy8$g*;TE  
     rs2G{a  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) Nlemb:'eP3  
     u;18s-NY  
    ;|Id g"2  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 o6,$;-?F_  
     ye=*m  
    Sr Z\]  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 xjB2?:/2  
           N>!RKf:ir  
    pMnkh}Q#  
    L!s/0kBg  
    Bh$ hgf.C  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 ":EfR`A#  
    2mN>7Tj:  
    Cy-q9uTm  
    Y+ 75}]B  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 dmI,+hHtL  
     JYB"\VV  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 L"6qS3[=  
    W}p>jP}  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 k0~mK7k  
    d%VG@./xq  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 Nv}'"V>  
    #ak2[UOT  
    rt)70=  
    导出加工数据列表 [u\E*8  
     I) Y ^_&=  
    d~@&*1}  
    ZLw7-H6Fh  
    导入加工数据 n*~=O'  
     # le<R  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI -02c I}e  
     yk OJhd3  
    m`C c U`s  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) U/'"w v1y  
     GADbXp3  
    p.^glz>B  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) 9SF2  
    AB<|iJC  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 K0$8t%Z.  
     /4{ 6`  
    A.tONPi  
    S^0Po%d  
    ;/?M&rX  
    .v;$sst5y  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 $GhdH)  
    d\&{Ev9v  
    t=M:L[bis;  
    6) 导入完成，观察3D视图 oe,I vnt  
     Wm>[5h%>  
    <?UbzT7X  
    ;v%Fw!b032  
    <y#-I%ed  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 y'\BpP  
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