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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 5a^b{=#Y kfQi}D'a 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) dl; O~L/>Ya 所需工具:Grating Toolbox Basic enw7?| ( iL\eMa 相关Tutorials:G.001; G.014 fo5+3iu^ 建模任务 >SSRwYIN jC3)^E@:" 理想平面波照射 kM o7mkV 0<4Swj3s7 SBog7An9SI |.;LI=CT 1XD|H_JG<j u^Ss8}d 镀膜倾斜光栅 QmRE<i 目标平面 uNS ]n} RLL2'8"A 周期:10um =0gfGwD{ 厚度:10um `GQ'yv 倾斜角度:20度 N8K @ch3=P Im0 #_
\ 光栅的参数 ^cz;UQX~} D$$,T.'u —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 !ZC0 n` O%R*1
P9 —填充因子 2—后面的介质 |v?*}6:a —膜层厚度 3—膜层材料 "JBTsQDj! —光栅厚度 P3u,)P& 1}>u Y _WeN\F~^ " +n\0j; g#b uy *]]C.t-cd 设置层数和转折点 [ta3sEPjs S`v+rQjW I,0Z* rw 2 设置层数和转折点以确定膜层 tMQz'3,X 2ij/! wg0hm#X 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 %J%ZoptY: wO&2S-;_K FY(C<fDRo{ 实现可编程光栅 #'?gMVSk
wn-{Vkpm .)Af&+KT Ag#o&Y sKU?"|G81G LsGu-Y5^ 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ))z1T 8 K,o@~fj TA~YCj$ 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) \XI9 +::% w6w'Jx HGJfj*JH 4X^{aIlshk MaX:oGF, sHwn,4|iY 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) S7_^E u^{6U(% ~BJ~]~0P` 2 双击Data Series Diagram HvSYE[Zt| AT6:&5_` 采样结果 c'8a)j$$+ FID4@-- 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. =e>#oPH iH#b"h{w QQ:2987619807
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