-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2024-05-30
- 在线时间1273小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
内容简介： F1_,V?
a?nK|Q=e 1.在VirtualLab中如何进行结构设计； kiN,N]-V
7?uDh'utt 2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 7- LjBlH
fU
;H 结构设计 ,q#SAZ/N 1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 7< )
@{fwM;me]P '{.4~: 2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击 ，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 q'+ARW48
U7j Dm>I Q <D_ QJ 3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 gI2'[OU
-(WR hBpw 目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 w.J$(o(/ tF-l=ph}` 光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 ;a@riPqx!
f1'X<VA 9#hp]0S6 光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 H<fi,"X^ 2bw) , W  O%>*=h`P
^ swj!da =8tK]lb 1,OkuyXy!> 导出加工数据 %>9L}OA m
:NWIUN 1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) Wp:vz']V
d` flYNg4 s#a`e]#? 2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 3 V ^5 4_
4[kyzz x KGc.YUoE 3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 y>E:]#F n CX{tqy  H{N},B
.s4v*bng 在一般(General)标签进行如下图所示的设置 L?|}! n^|xp;] : 在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 `'XN2-M8 )hQ]> o@i{ 在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 d*6/1vy jT _e>N3fT e>c
-b^{&
导出加工数据列表 y O@1#
DHeZi3& i 3 `{
vx w nQy 导入加工数据 _fY9u2Y
"PN4{ "`V 1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI DOFW"Sp E
gSwHPm%zn $")Gd@ aR 2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) q&9]4j
lo6upir ZX I9xu3izAmR 3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) LQ% QFfC 8Ara^Xh}q 4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 TTa3DbF p%
[!3cWJCt <=6F=u3PtU  $iy!:Did L.-qTh ^P  j(;ou?Uh 6) 导入完成，观察3D视图 90iv eb21}
I!9>"s12  :~W(#T ,$E 7CF>cpw
QQ：2987619807
|
