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摘要 jr"~ .a:Oj3=0 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 <wTkPErUG 9;;1 "^4/ FK!9to> Ai iOs? 设计任务 (CYVSO z$p+l] }/G~"&N[ ja2LQe@Q 1级参数优化 PpN+q:( D00rO4~6D% 9a)D8 ;3'}(_n 结果-容差分析 ?"AcK"v Jg
k@ti.}Z 'rf='Y BU:s&+LYUv 结果-容差分析 A"eT@ K1z"..(2J UR-e'Z&] ZvNXfC3Ia VirtualLab Fusion一瞥 T4Z("
Fg4eIE-/M sr#,S(p A'|W0|R9 VirtualLab Fusion中的工作流程 F5L/7j<} ) !ZA.sx 构建光栅结构 ika{>hbH −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Iu0K#.s_ −倾斜光栅高级设定[用例] zy@
#R ; •光栅衍射效率分析 Re<X~j5] −光栅阶序分析器[用例] *GuCv3| •使用参数优化进行光栅参数优化 vWfC!k-)b •使用参数运行的容差分析 2~h)'n7Mw "_'9KBd! xKsn);].` \ox:/-[c\< VirtualLab Fusion技术 uK(+WA 3{CGYd]_u Jc9SHCJ 9FK:lFGD 文件信息 RWA|%/L X+iA"B dJNYuTZ' [Z
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