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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 -g[*wN8 d a?th 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） :5cu, &<Gv zloa U 所需工具：Grating Toolbox Basic 2gD{Fgf@N n 8OdRv 相关Tutorials：G.001; G.014 F ;X q:e8 建模任务 N;ecT@U g j3[OY 理想平面波照射 B]KLn?zt5 >ya- *r?51*J  1uge>o& ZesD( 2-E71-J 镀膜倾斜光栅 ~"r wP=<} 目标平面 5WNg+ ah Xq{> 周期：10um ]qza* ba 厚度：10um 6 % y) 倾斜角度：20度 NdSxWrD`m uF3p1by 光栅的参数 WJSHLy<a qM:)daS1w —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 ihBl",l&Hq _T N$c —填充因子 2—后面的介质 Wm Vw>.]@~ —膜层厚度 3—膜层材料 --%2=.X= —光栅厚度 WZ6{(`;#m hYZ:" x vlN. OQ  DF[b?
zT -"kK C m}UWX 设置层数和转折点 E|4XQ|B@ K9M.+d4 UuqnL{  2 设置层数和转折点以确定膜层 (l P4D:X 'MQGR@* [pWDhY 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 PRlo"kN x0;}b-f ,0~
{nQ j] 实现可编程光栅 wG?kcfu XXwhs-:o Mh.eAM8 _  '/*c Yv45
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R%R]X 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 8oH54bFp  R Mt vEa }qdJ8K 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） f EiEfu }Z? [Ut V1>94/waa vhEs + j  EF=D}"E6pO ,k! f`
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） > ,Bu^] C  7%!K Atc K cdd=2 [T 2 双击Data Series Diagram d1La7|43u y8S6ZtA}2 采样结果 9qy 9  ye7&y4v+
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. [f(^vlK c@B%`6kF
QQ：2987619807
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