[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 H5)WxsZ R  
tWIhbt  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 5GP'
cE  
'?
t{-z,  

图片:1-20021G15353423.png

<h[^&CY{  
?zqXHv#x  
建模任务 GvY8O|a  
8nM]G4H.f  

图片:1-20021G15419564.png

'#?hm-Ga  
光栅特性与参数的严格分析 l[Oxf|  
z)Gr`SA<  
不同光栅周期下的衍射效率
`(<>`  
LBR_Q0EP  

图片:1-20021G15602G5.png

(?(ahtT4T  
a*`J]{3G  
关于光栅周期选择的考虑 EIAT*l:NW  
\)hmg  

图片:1-20021G15641J8.png

ruVm8BO  
O.!?O(  
偏振相关的衍射特性 7 m%|TwJN  
U*t`hn-xs  

图片:1-20021G15G0159.png

j4
3HSY7@  

0vEa]ljS  

图片:1-20021G15I2201.png

89l}6p/L  
klKt^h-  

图片:1-20021G15P2594.png

SBA;p7^"  
   ):\L#>:w  
通过参数优化进行光栅设计 IiL?@pIq  
;lldxS  
固定周期的2D参数优化 q#1um @m3  
O<5bsKw'r  

图片:1-20021G15RaL.png

%3cBhv[q4  
2D参数优化–设计1 Z(FAQ\7  
m-K6y7t  

图片:1-20021G15Z4258.png

7)YU ;  
^H>vJT  
2D参数优化–设计2 g.'4uqU  
'ga@=;Wj  

图片:1-20021G20004394.png

: f
Wh7X3  
z
R:S.e<  
制造公差分析–设计2 ;tj_vmZ@R  
/3fo=7G6  

图片:1-20021G2002JX.png

nt7ui*k  
^I^
k4iw4  
变化光栅周期的3D参数优化 GlaWBF#  
h`)r :a7  

图片:1-20021G20100c0.png

SYyH_0N  
Yq.Omr
!  
制造公差分析 nBQG.3  
YEGXhn5E  

图片:1-20021G20120954.png

jtA Yp3M-$  
e3[N#ryt  
走进VirtualLab Fusion 2'++G[z  
_A(J^;?  

图片:1-20021G20141219.png

ks! G \<I  
y|X[NSA  
VirtualLab Fusion中的工作流程 *l|CrUa  
~-,<`VY  

图片:1-20021G20205237.png

UO</4WJ  
U*zjEY:A  
•构造光栅结构 !j- 7,  
−通过使用界面来配置光栅结构 _M7AQ5  
[用例] qsJo)SA  
•分析光栅衍射效率 fO9e ;  
−光栅级次分析器[用例] z\v\T|C  
•使用参数运行搜索初始解决方案 mI l_ [  
−参数运行文档的使用[用例] 0L|A  
•通过参数优化找到最终设计 hhwV)Z  
;i1H {hB  
VirtualLab Fusion技术 zd+8fP/UB  
|n0 )s% 8`  

图片:1-20021G2025W62.png

   CFVe0!\