摘要
=)bOteWM u/W{JPlL 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
Y's=31G@ :+YHj)mN 54z`KX
73 lz=DGm
建模任务
bAt!S /,:cbpHsu pRfKlTU\ 光栅特性与参数的严格分析
vT5GUO{5 Cnpl0rV~5 不同光栅周期下的衍射效率
JSg=9p$ rE*yT(:w L@MCB-@V azmeJpC 关于光栅周期选择的考虑
0^{Tq0Ri[ 7'+`vt#E EW]DzL3 tic3a1 偏振相关的衍射特性
g,E)F90 tLJ 7tnB FBNi (D O#tmB?n* CV|Ae [ i.9}bw
9u@ Gad&3M0r ~RLjL" 通过参数优化进行光栅设计
nILUo2e~ R?:K\ 固定周期的2D参数优化
'!X`X= 1q'_J?Xmd LZ#A`&qUd 2D参数优化–设计1
2s2KI=6 r(]Gd`] iMVQt1/ qUe2(/TQu 2D参数优化–设计2
/_<_X
7 j.Y!E<e4] zV$Z@o GLY,<O>D5 制造
公差分析–设计2
3 }
$9./+ ;d7Qw~v1s $LR~c)}1I "`K73M,c?9 变化光栅周期的3D参数优化
B%Oi1bO Jv2V@6a( F[ ^ p~u{ #;2mP6a[ 制造公差分析
)$Fw<;4 }2y"F@{T };(2 na 09Oe-Bg 走进
VirtualLab Fusion
#r&yH^- N}bZdE9F vO{[P#L} I~
SFY>s VirtualLab Fusion中的工作流程
:)_P7k`>e/ NnZ_x>R bB.nevb9p D5T0o"A •构造光栅
结构 tG,xG& −
通过使用界面来配置光栅结构 arPqVMVr [用例]
[:Odb?+ `F •分析光栅衍射效率
nNM)rW −
光栅级次分析器[用例]
w RTzpG4 •使用参数运行搜索初始解决方案
(B+zh −
参数运行文档的使用[用例]
)Z?\9'6e4 •通过参数优化找到最终设计
#|xj*+)H QZ-6aq\sgp VirtualLab Fusion技术
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