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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: DXs an 定义单向弯曲器件的材料 j#l=%H 定义系统设置 <xI<^r'C9e 创建弧形波导 nf.Ox.kM) 插入输入平面 QJ|@Y(KV0 选择输出数据文件 8dGsV5" * 运行仿真 (8duV 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 i}-uK,^ (jT)o,IW& 1. 定义单向弯曲器件的材料 "tJ+v*E 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 smP4KC"I(d 步骤 操作 m2(>KMbi 1) 从文件菜单中,选择新建。 nBh+UT} 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 Q_5l.M/9] z$~x 2< 图1.初始属性对话框 ]I?.1X5d0 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 )GD7rsC`< 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 %~u]|q<{ 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 hFrMOc& LP2~UVq 图2.轮廓文件设计器 1-2hh) 3) 创建以下介电材料: 0U '"@A
\ 名称:包层(Cladding) _D '(R 折射率(Re :):1.442 P`Np+E#I pSs*Z6c)@ 4) 要保存资料,请单击“存储”。 02;jeZ#z V=O52?8 5) 创建第二种介电材料: A;oHji#* >B BV/C'9 名称:波导层(Guide) FK%b@/7s~ 折射率(Re :):1.45 i'IT,jz! .wfydu)3 6) 要保存资料,请单击“存储”。 @\K[WqF$$q T &ZQie/ 7) 创建以下通道: -+R,="nRQ 轮廓名称:通道1 Q:}]-lJg 2D轮廓定义材料:波导(Guide) w,UE0i9I 8) 要保存通道,请单击“存储”。 B*,6;lCjX 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 !~ox;I}S 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI Obs#2>h ACszx\[K3 2. 定义系统设置 )U/jD 要定义系统设置,请执行以下步骤。 3I6ocj[, 步骤 操作 BU`X_Z1) 1 点击默认波导标签 Cf%
qap# 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 #:K=zV\ 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 kiTC)S=]) 4 键入以下值: 7^L 长度:800 zl0{lV 宽度:50 [+ud7l 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 <,i4Ua 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 K~W(ZmB 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 qZ1'uln=C- 出现布局窗口(参见图3)。 #;[G>-tC 1IXtu 图3.布局窗口 %OQdUH4x 3. 创建弧形波导 ;mQj2Bwr 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 xS*UY.> 步骤 操作 H$![]Ujq 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 9&+]YYCS- 光标变成十字线。 U4D7@KY +m 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 "Q?+T:D8| .. `I<2 图4.绘制一个弧形波导 O1c%XwMn^ 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 8$( I! ; 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 a6{Zp{"Y 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 \!u<)kkyT 出现弧形波导属性对话框(参见图5) LrU8!r`a uwe#& |