光刻照明系统中复眼透镜的设计及公差分析
采用CODEV软件设计了复眼透镜对引起照明不均匀性的因素进行分析，结合复眼透镜组的设计方案和实际加工能力。
 本文设计的复眼透镜组由 ３片柱面复眼构成，六个表面S1、S2、S3、S4、S5、S6均为工作表面，如图２所示，S1、S2为Y向柱面复眼，实现 Ｙ方向上的均匀照明。S3、S4、S5为X向柱面复眼，完成X方向上的均匀照明。S6为Y向柱面复眼负责将光束沿Y方向弥散，与S1、S2一起形成Y向的平顶高斯能量分布。  图2. 复眼透镜结构示意图  图3. 复眼透镜的公差分析的光路图 ...... 5 结论 根据复眼透镜的设计要求，采用3片柱面镜设计的复眼透镜组，分别实现了 X、Y方向上的均匀照明。对影响光刻照明均匀性的误差源进行详细分析，给出了复眼透镜的公差分析的光路图。前组复眼透镜经复眼光组、聚光镜和耦合成像后，在掩模上形成均匀照明，当畸变每变化0.1％，照明均匀性约变化0.4％。因此复眼透镜组的误差源分析时，主要分析复眼光组透镜单元之间的发生相对位置误差和面形误差，对各个视场畸变的变化，计算出照明均匀性的变化量。结合复眼透镜组的设计方案和实际加工能力，给出复眼透镜组具体的公差要求。采用CODEV软件对浸没式光刻照明系统的均匀性进行仿真，仿真结果表明在传统照明和离轴照明模式下，Y方向能量分布均优于99.5%，验证了制定公差合理、可行。 点此下载全文内容：光刻照明系统中复眼透镜的设计及公差分析.rar (1655 K) |
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