ASML新一代EUV光刻机：公共汽车大小 造价1.5亿美元

9月2日消息，荷兰ASML的新一代极紫外（EUV）光刻机有公共汽车大小，造价1.5亿美元。其前所未有的精度可以让芯片上的元件尺寸在未来几年继续缩小。在位于美国康涅狄格州郊区的一间大型洁净室里，工程师们已经开始为一台机器制造关键部件，这台机器有望让芯片制造行业沿着摩尔定律至少再走上10年时间。

这台极紫外光刻机是由荷兰阿斯麦公司制造的。阿斯麦于2017年推出世界上第一台量产的极紫外光刻机，在芯片制造领域发挥着至关重要的作用，已经被用于制造iPhone手机芯片以及人工智能处理器等最先进的芯片。阿斯麦正在康涅狄格州的威尔顿制造下一代极紫外光刻机的部分组件，其使用新技术来最小化紫外线波长，从而尽可能缩小所制造的芯片元件尺寸，最终提高整个芯片的性能。

新一代极紫外光刻机大约有一辆公共汽车那么大，造价1.5亿美元。整个机器包含10万个部件和2公里长的电缆。每台机器发货需要40个集装箱、3架货机或者20辆卡车。只有诸如台积电、三星和英特尔等少数公司能买得起这种机器。

“这真是一台不可思议的机器，”麻省理工学院研究新型晶体管架构的教授Jesús del Alamo说。“这绝对是一款革命性的产品，是一项突破，将给芯片行业带来新的生命。” 

在康涅狄格州的工厂里，工程师们将一块巨大铝材雕刻成框架，最终让光罩以纳米级的精度在其间移动，反射极紫外光束。这些光束利用几面镜子来回反射，以惊人精度反复修饰打磨，在硅片上蚀刻出只有几十个原子大小的特征图案。

造好的组件将于2021年底运往荷兰维荷芬，然后在2022年初安装到新一代极紫外光刻机的第一台原型机中。英特尔可能会使用这种新机器制造出第一批芯片。英特尔表示，预计将在2023年下线第一批芯片。凭借比以往任何机器所蚀刻的图案尺寸更小，让每个芯片都有数百亿个元件，这台机器在未来几年所生产的芯片应该是史上处理速度最快、效率最高的。