全铝全自由曲面离轴两反望远镜的设计与制造
阐述了一种新型全铝全自由曲面离轴两反可见光望远镜的设计、加工、检测与装调过程，可以为全自由曲面反射式成像光学系统的研制提供依据。
 目前，自由曲面成像光学系统研制所面临的最大挑战是自由曲面的检测，其直接制约了自由曲面的加工精度。我们采用基于CGH的零位补偿干涉检测方法，对两片自由曲面反射镜的面型进行了高精度检测。如图5(a)所示，为方便检测光路的搭建，所采用的CGH元件由三个区域组成，包括主区域、对准区域和基准区域。主区域CGH用于自由曲面面型的干涉测量。对准区域CGH用于干涉仪和CGH元件的对准。基准区域CGH则可以在自由曲面的特定位置投影多个基准光点，以方便调整自由曲面和CGH的相对位姿。以自由曲面反射镜M2的检测为例，我们采用光线追迹法直接计算各区域CGH的相位分布，如图5(b)所示：  （2）其中，Φmain、Φalignment和Φfiducial分别是主区域、对准区域和基准区域CGH的相位，Fs是干涉仪的焦点，λ是干涉仪的工作波长，n是CGH基板材料的折射率，T是反射镜有效区域外指定的投影位置，P是自由曲面上的点，T1、Q1和P1是CGH元件CGH表面上的点，而T2、Q2和P2是CGH元件另一表面上的点。主区域CGH的相位分布如图5(c)所示。振幅型CGH元件的二值化条纹图样如图5(d)所示，其中最小条纹线宽为39.6μm，可以很容易地采用激光直写技术制造，线宽精度可以达到±0.5μm。  图 5.用于M2检测的CGH设计结果 振幅型CGH元件的实物如图6(a)所示，其用于M2的零位补偿干涉检测，如图6(b)所示。M2的面型检测结果如图6(c)所示，面型误差是RMS 0.032λ、PV 0.19λ，其中λ是632.8nm，满足可见光成像的加工精度要求。  图6.M2检测结果 |
1.行业新闻、市场分析。 2.新品新技术（最新研发出来的产品技术介绍，包括产品性能参数、作用、应用领域及图片）； 3.解决方案/专业论文（针对问题及需求，提出一个解决问题的执行方案）； 4.技术文章、白皮书，光学软件运用技术（光电行业内技术文档）；
如果想要将你的内容出现在这里，欢迎联系我们，投稿邮箱：service@opticsky.cn
文章点评
