OpticStudio如何模拟高分辨率图像

几何图像分析(Geometric Image Analysis)

只限于对低分辨率的.IMA和.bim格式的位图进行几何计算（不考虑衍射效应）。该功能可以计算任意面上的图像，相比之下基于卷积计算的图像模拟功能只能在像面上计算。同样，由于几何图像分析基于光线追迹，该功能可以用于计算系统效率以及多模光纤耦合。在评价函数编辑器中使用操作数IMAE可以将系统效率作为目标进行优化。

几何位图图像分析(Geometric Bitmap Image Analysis)

由于可以将.bmp和.jpg格式的图片作为光源位图经光学系统进行成像，因此和图像模拟比较相近。通常来讲，图像模拟得到高信噪比的结果要比几何位图图像分析的速度快很多。对于几何位图图像分析来说，图像信噪比与SQRT(n)成正比，其中n为每个像素追迹光线的条数。

图像模拟分析欠采样的PSF时存在一定误差。当PSF严重欠采样时，PSF网格上每个点都看起来像一个δ函数，这意味着基于卷积的方法计算得到的结果在这种欠采样情况下会比实际情况好。几何位图图像分析则可作为非常实用的检查方法对分析结果进行复查。而且几何位图图像分析可以应用于任意一个面上，例如远离焦平面的地方。

部分相干图像分析(Partially Coherent Image Analysis)

在早期的版本中名为衍射成像分析。如果使用衍射极限系统对非相干的位图进行成像，则图像模拟功能要好于该功能。然而部分相干图像分析功能可以分析相干光源。在实际应用中，相干光源分析对于光刻机系统非常重要。

扩展图像分析(Extended Diffraction Image Analysis)

在非相干光源时该功能可以完全由图像模拟代替。但扩展图像分析允许扩展光源进行相干成像，并且允许光源位图中的每个像素代表一个δ函数。该功能非常适合用于扩展光源图像包含点光源的情况（例如星星）。