如何将干涉仪测量的数据输入到OpticStudio中

在本文中，我们将进一步了解网格矢高数据以及网格相位数据的输入。

介绍

在本例中我们使用ZYGO公司的干涉仪提供的数据做为示例，ZYGO公司干涉仪生成的数据文件格式为.zxgrd文件，在OpticStudio中我们需要将该文件格式转换为.DAT文件，并将此文件保存在Zemax根目录下“DocumentZemax/ObjectsGrid Files”中。

应用实例

下图为数据文件开头部分的截图，我们可以看到数据格式和上周文章中提到的Grid Sag数据格式相同。XY方向的数据点数分别为732个，又因为数据点间距为0.01344，可以得到该数据文件的直径为9.72mm。其中文件中的第一行末位标志（flag）为0，代表数据单位为mm。

需要注意的是，如果测量数据保存的是波前数据的话，则我们需要把这份数据文件当做相位数据来处理。OpticStudio的网格相位(Grid Sag)的单位是弧度。因此测量数据需要进行换算，换算公式如下：

Zemax单位(弧度) = ZYGO测量单位(mm) x 2π / 测量波长(λ)

在本例提供的数据文件中，测量波长为632.8nm，则：

Zemax单位(弧度) = ZYGO测量单位(mm) x 2π / 0.0006328 = 9924 x (ZYGO测量单位)

现在打开OpticStudio，将系统入瞳直径设为9.5mm，其路径为系统选项-系统孔径，选择孔径类型为入瞳直径并输入孔径值为9.5，并勾选无焦像空间(Afocal Image Space)选项，如下图所示。然后在系统选项中设置系统波长为632.8nm。