消除平场扫描镜F-Theta后反射点的不利影响

激光扫描系统是一种将时间信息转变为可记录空问信息的系统。它使某种信息通过光调制器对激光束调制后，经光束扫描器和F-Theta激光聚焦镜头再接收形成一维或二维扫描图像。它已被广泛用于标刻机、导弹跟踪瞄准、激光打印机、传真机、集成电路激光图形发生器等激光扫描精密设备中。

激光打标是激光技术的一个重要的应用领域，它与传统的刻蚀、机刻等打标方式相比，有许多优点，如无污染、分辨率高、非接触及标记永久保持等。激光束到达工件表面的瞬间，光能转换为热能，使工件表面材料熔融甚至汽化，从而标刻出相应的图案或标记。

激光打标机的工作原理如图1所示，激光器发出的高能量激光束依次经过动方向互相垂直的X和Y扫描振镜，入射到F-Theta物镜，由F-Theta后到达工件表面。通过转动X和Y扫描振镜，可以控制激光束在工件表面的X和Y两个方向上任意移动，实现矢量打标。振镜式激光打标具有响应速度快、打标速度快、打标质量高等许多优点。

图1.激光打标机工作原理图

与普通成像物镜不同，F-Theta镜头的像高与视场角成正比。如图2所示镜头的视场角、焦距和像高满足下式所示的关系：y=f*θ

式中θ、f、y分别表示F-Theta镜头的视场角、焦距和像高。表示当F-Theta焦距一定时，像高y与视场角θ成正比，满足线性关系。

图2.F-Theta镜头原理图