微透镜及微透镜阵列及其发展

1997年，美国麻省理工学院(MIT)林肯实验室研究人员采用质量转移法，成功制作出折射非球形微透镜阵列，用于锥形谐振腔激光器的光束准直，使衍射受限光束发散角仅为0.43。，并实现了与单模光纤的耦合。

2002年，Osaka大学研究人员利用微透镜阵列与二次谐波显微镜(second harmonic generation microscopy)集成，提出了多焦点扫描技术，与传统的单焦点扫描方法相比，此技术使二次谐波生成的探测效率和图像采集率获得了数十倍的提高。

2005年，韩国研究人员报道称将微透镜阵列用于超大尺寸的三维成像显示，微透镜阵列能够加大显示器的视场角，同时显示的图像显非常清晰而且没有畸变。

2006年，美国加利福尼亚州的斯坦福大学的研究人员成功地利用微透镜阵列代替数码相机中的单一透镜成像，大大增加了相机的聚焦深度和视场角。装有微透镜阵列的相机不但能够使远处和近处的像清晰，连背景也十分清楚，而一般的相机只能获得近处或远处的像。

2007年韩国LG公司研究人员报道了使用高填充因子微透镜阵列增强OLED的光输出效率。他们利用沟道成型和高分子敷形图层气相沉积的微机械制作工艺在OLED器件表面制作出来高填充因子的微透镜阵列，将OLED的输出效率提高了48%。

在国内，研究人员对微透镜阵列理论及制作工艺也进行了深入的研究，使得其得到了广泛的应用。如成都光电所将其成功地用于波前测量、激光光束诊断、激光光束整形和光学元件质量评价等实际系统中；浙江大学对其在密集多载波分复用器中的应用也作了深入的研究；南开大学光学所衍射微光学试验室对微透镜的制作工艺也进行了深入的研究。

由于微透镜阵列在微光学系统中有着重要而广泛的应用，如可用于光信息处理、光计算、光互连、光数据传输、生成二维点光源，也可用于复印机、图像扫描仪、传真机、照相机，以及医疗卫生器械中。此外，微透镜阵列器件也实现了微型化和集成化，使得其具有很强的适应性，可广泛用于通信、显示和成像器件当中。用于半导体激光器的椭圆形折射微透镜阵列，能够实现激光器的聚焦与准直，激光二极管(LD)的光束整形，它还可用于光纤、光学集成回路之间，实现光器件的有效耦合。在光纤通信中，椭圆形微透镜将来自自由空间的光耦合进光纤，并校准从光纤出来的光。目前微透镜阵列己经在原子光学领域有所应用，利用微透镜阵列做成原子波导、分束器、马赫一曾德尔干涉仪或利用其捕获原子或者对中性原子进行量子信息处理。因此对于微透镜阵列使用材料，制作工艺和用途方面的研究十分必要。