CODE V中的公差分析

TOR有两种工作方式：1）反灵敏度模式Inverse Mode：为缺省模式，它计算公差值，每一个公差对系统造成的影响大致相当，公差范围不会违背用户定义的公差极限，在此种模式进行中，每个公差值不能被改变。2）灵敏度模式Sensitivity Mode：计算特定公差对系统的影响。 

3.TOR的工作过程

下面用一个简单的例子（F/5，焦距100，一片，如图1）说明一下TOR到底对系统产生了何种影响。设计结果为光学零件第一面半径为50mm，厚度为5mm，RMS波像差为0.4377waves, 

 图1.例子光路图

我们将改变第一面半径和厚度来观察RMS波像差的变化，我们计算允许RMS波像差增加0.01waves时所需的公差。（在这里我们用命令的形式来进行以简化过程）

第一步，我们指定第一面半径和厚度的公差，DLR S1；DLT S1，注意在这里可以输入你指定的公差值，否则为公差的缺省值； 第二步，计算公差，TOR；ROU N；INV 0.01；GO，这里没有选择公差控制的Rounding按扭的原因为更好地理解TOR的含义，在实际运用中，应选择此项，以模拟实际多次加工的循环过程。输出结果如图2：

 

图2.公差分析第一次结果

由结果可以看出：半径公差为公差范围的极小值的原因为当半径改变0.02时，RMS波像差改变量已经超过0.01waves，而TOR不改变系统的公差极限，当然公差极限可以由我们用户来设置或改变，计算结果还表明我们将厚度改变为5.040806mm时，RMS波像差将增加0.01waves。

现在我们将后截距的变化（Defucus）作为系统的调整量，调整量为0.5mm再一次进行公差分析，CMP DLZ SI；TOR；INV 0.01；ROU N；GO，输出结果如图3：

 

图3 Defocus为0.5mm时的结果