CODE V 的非球面专家宏工具（1）

光刻透镜面数多、性能高（RMS波差需要比较小），这个专利的设计者使用了4个非球面。最高阶是14阶，要求系统的畸变小于0.03%，对于非球面斜面极限偏离量（aspheric slope departure limits）则没有要求。

我们把专利中的所有非球面先变为球面，再使用非球面专家宏工具寻找最佳非球面位置。

下图就是专利中非球面的位置和非球面专家宏工具计算出来的位置对比：

非球面专家宏工具的计算结果和专利不同，上面的S3、S16、S34、S39是专利中的非球面，下面的S1、S12、S17、S44是我们宏的计算结果。

我们再来对比一下设计的性能：

非球面专家宏工具结果好呢还是专利中的结果好呢？看起来宏工具的结果要好一点点。而非球面专家宏工具得到这个结果，一共才计算了不到1分钟的时间！

我们还可以考虑对非球面斜面极限偏离量进行控制，以保证非球面可以直接被干涉仪测试。