超短脉冲激光器的光纤方案
在工业应用中,超短脉冲激光器与连续波操作具有相同的优势,插座效率高,尺寸小,需要的维护少,可靠性高。脉冲能量的限制主要来自光纤本身。单模光纤的中心直径为10-20 μm,这等于许多微加工应用中所选用的光斑尺 ..
在工业应用中,超短脉冲激光器与连续波操作具有相同的优势,插座效率高,尺寸小,需要的维护少,可靠性高。脉冲能量的限制主要来自光纤本身。单模光纤的中心直径为10-20 μm,这等于许多微加工应用中所选用的光斑尺寸。这样,我们必须在一定范围内操作,使得光纤的非线性效应和吸收不会影响脉冲的特性,仍然保持目标烧蚀时的最佳条件。在实际操作中,很难在“标准”光纤内提高超短脉冲的能量而超过5-10 μJ范围,甚至在皮秒范围也不能实现。在飞秒光纤激光器的情况下,光纤内的脉冲宽度必须先被展宽,然后输出光纤后被压缩,以实现实际的脉冲能量(啁啾脉冲放大,CPA)。
超短脉冲光纤激光器在连续波(CW)的模式下可以实现很高的功率。准连续波(QCW)模式意味着很高的重复频率(≥100 MHz),在这种情况下,材料烧蚀的反应时间要比脉冲之间的间隔要长。所以,激光与材料的相互作用接近CW激光器的情况。超短脉冲光纤激光器的锁模过程在这个重复频率范围内十分简便,提供了最简单的脉冲输出技术。为了优化材料加工时加工速度与质量的关系,必须降低重复频率,因此,可以使用所谓的“脉冲选择”方案,能够将重复频率从百MHz降到MHz范围。目前,对于不同材料来说,非QCW重复频率的最大值尚未得到确定。作为经验法则,重复频率高于1 MHz时,等离子体屏蔽现在开始出现。不过,烧蚀率持续非线性的增加,直到至少10MHz处。频率范围在1-10MHz、脉冲能量为5-10 μJ的超短脉冲光纤激光器提供了很高的平均功率(5-100W)和材料去除率(光斑大小在5-10 μm)。薄膜的制图通常需要很高的扫描速度(1-100 m/s),以便在大规模生产中能更经济。超短脉冲激光器在这些应用中表现出众。 |
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