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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-13
    rw7_5l  
    在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   WO</Mw  
         q<#>HjC  
    2. 建模任务 ^Q+i=y{W  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
        
    BZv+H=b  
    :_kAl? eJ  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) $ (=~r`O+1  
    7piuLq+  
    EGq;7l6u&?  
       o>/O++7Ra  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) }MbH3ufC  
    fV:4#j  
    *Vw\'%p*  
         k0-G$|QgIp  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 7OCwG~_^  
    9@ 16w  
    ,m<H-gwa  
         B[4pX +f  
    6. 3D仿真与结果对比 'CZa3ux  
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    7. 走进VirtualLab Fusion 4)>FS'=  
    F}GPZ=T;  
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         kql0J|P?  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 )vg5((C  
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     构造光栅结构 l7{oi!   
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     计算光栅结构内部的场分布 JO<wK  
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    9. VirtualLab Fusion技术 ps .]N   
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