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    [讨论]關於 EB 製程(不使用IAD) [复制链接]

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    离线rexchou
    技术员
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2017-11-20
    各位前輩 先進 大家好 E-yT  
    關於EB製程(不使用IAD)部分 -y&v9OC2-  
    在高溫(280度)不使用IAD的情控下，麻點該如何避免產生 ~ Ho{p Oq  
    可以控制的參數很少 :jt;EzCLg%  
    頂多就 真空、鍍率、氣體 除此之外還有甚麼改善的部分嗎???
     
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    离线ouyuu
    论坛版主
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    只看该作者 1楼 发表于: 2017-11-20
    麻点有很多因素。 B ~fSMB6h  
    改善抽气和放气（延长缓粗抽和缓放弃的时间），可以减少气流带到镜片的粉尘数量。 g>2aIun_Q  
    改善预熔药的溶药制程（甚至溶药后再放置镜片），可以减少粉尘源。 di6B!YQP  
    电子枪如果有二次电子（电子枪轰击药物后反射的电子）抑制器，可以减少镜片的静电，减少粉尘沾染。 s<[A0=LH  
    另外，腔室的清洁很重要，如果每次都换铝膜，那也能改善很多。
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    rexchou 光币 +5 热心助人，鼓励！ 2017-11-23
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    离线奔跑的小骏马
    助理工程师
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    只看该作者 2楼 发表于: 2017-11-22
    主要还是查看一下膜料吧！另外就是腔体里出现掉膜的部位需要及时清理，还要防止膜料的互相影响。
    共1条评分 ，光币+1
    rexchou 光币 +1 精彩回帖，奖励！ 2017-11-23
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