[讨论]關於 EB 製程(不使用IAD) [复制链接]

各位前輩 先進 大家好
2mEqfy  
關於EB製程(不使用IAD)部分 VVQ~;{L  
在高溫(280度)不使用IAD的情控下，麻點該如何避免產生 PzPNvV/o  
可以控制的參數很少 br=e+]C Y)  
頂多就 真空、鍍率、氣體 除此之外還有甚麼改善的部分嗎???

麻点有很多因素。 c^=q(V  
改善抽气和放气（延长缓粗抽和缓放弃的时间），可以减少气流带到镜片的粉尘数量。 /K!)}f(6  
改善预熔药的溶药制程（甚至溶药后再放置镜片），可以减少粉尘源。 w5z]=dN  
电子枪如果有二次电子（电子枪轰击药物后反射的电子）抑制器，可以减少镜片的静电，减少粉尘沾染。 b]]k\b  
另外，腔室的清洁很重要，如果每次都换铝膜，那也能改善很多。

主要还是查看一下膜料吧！另外就是腔体里出现掉膜的部位需要及时清理，还要防止膜料的互相影响。