稳定性上很难说。 CtT~0Y|
新柯隆在低端机上用过一阵子ULVAC的晶控仪, St>`p-
后来因为软件问题,包括售出的机器全换成了INFICON的。 w{'2q^>6*
然后ULVAC的老板信誓旦旦说软件修好了,没问题了, <4zT;:NQ
然后又买了400多台,然后又是各种问题。 (L|}`
d.pp3D9/
新柯隆的利润基本上一半都花在了事后帮那帮日本人擦屁股上了。 *\LyNL(
JfTfAq]
回过头来讲,晶振的原理非常清楚,做晶振一点也不难。 =w<VT%
难就难在抗干扰上了,加热丝开关造成的电压波动; ;aK.%-s-Z
电子枪高电压6KV~10KV;离子源的RF射频干扰; VjTe4$ *
机械泵和POLYCOLD的震动……