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[分享]AZO薄膜理想表面形貌的制备与加工工艺优化 [复制链接]

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离线200833

科学家

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2017-07-26

关键词：薄膜工艺优化

非晶硅薄膜太阳能电池主要采用掺氟氧化锡（FTO）导电玻璃作为基板，但FTO薄膜雾度较低、表面形貌无法优化，导致无法得到较优的陷光结构，从而限制了太阳能电池的转换效率。为了进一步提升太阳能电池的转换效率，探讨了替代型的掺铝氧化锌（AZO）薄膜，通过优化前段磁控溅射镀膜工艺和后段湿化学蚀刻工艺，用以平衡AZO薄膜的光电性能和雾度，从而获得具有理想表面形貌的AZO导电玻璃，使其成为理想的非晶硅薄膜太阳能电池的基板材料。实验表明，经工艺优化后制作的AZO导电玻璃可提升光电转换效率。