京东年货节:红包,购物券大派送!	Zemax光学设计从基础到实践	成像衍射光学元件设计及应用	现代光学与光子学技术
讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商	微小光学与微透镜阵列	光学设计与光学元件	计算光学带来的成像革命

发帖回复

2165阅读
5回复

[分享]AZO薄膜理想表面形貌的制备与加工工艺优化 [复制链接]

上一主题下一主题

离线200833

科学家

发帖: 1092

光币: 27789

光券: 0

只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2017-07-26

关键词：薄膜工艺优化

非晶硅薄膜太阳能电池主要采用掺氟氧化锡（FTO）导电玻璃作为基板，但FTO薄膜雾度较低、表面形貌无法优化，导致无法得到较优的陷光结构，从而限制了太阳能电池的转换效率。为了进一步提升太阳能电池的转换效率，探讨了替代型的掺铝氧化锌（AZO）薄膜，通过优化前段磁控溅射镀膜工艺和后段湿化学蚀刻工艺，用以平衡AZO薄膜的光电性能和雾度，从而获得具有理想表面形貌的AZO导电玻璃，使其成为理想的非晶硅薄膜太阳能电池的基板材料。实验表明，经工艺优化后制作的AZO导电玻璃可提升光电转换效率。