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ysc212:均匀性问题,建议使用修正板 Hm~.u.)\. (2017-06-20 09:34) ;hd%wmE
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yzhuang:个人感觉是膜层敏感度的原因,特别是光控进行镀膜时更容易发生这种现象 (2017-06-27 11:20) *3y_FTh8ra
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fly6947:我建议你做一下图一的重复性,如果每炉差,但是情况不一样,那么是你的敏感层是H4,要么膜系结构优化一下,(图2是单峰结构,敏感度没那么高)要么控制H4的预熔与充氧量;如果每炉都这样,那肯定是均匀性没做好,有条件的话 高低折射率的mask单独修一下;....... (2017-06-29 08:46) ~SYW@o
johnyu:這很清楚的。若與圖一使用之MASK為同支,圖二看起來均勻性OK,即表示MASK為好的。 H/ar:j ....... (2017-07-03 17:36) o^b5E=?>C