[求助]玻璃表面镀完膜后会产生类似麻点的均匀的灰点 [复制链接]

玻璃表面镀完膜后会产生类似麻点均匀分布的灰点，不同材质的玻璃镀出来严重程度不一样。求大神分析原因

是白色灰点吗，可能离子源和中和器有问题了，需要保养了

玻璃和膜层上都可能产生吧

756340418:是白色灰点吗，可能离子源和中和器有问题了，需要保养了 (2017-06-13 09:11)  [Q7->Wo|S:  

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类似麻点，我用的是电子枪不是离子源

hit2011:玻璃和膜层上都可能产生吧 (2017-06-13 09:22)  O_r^oH  

*ajFZI  
膜层有关，怎么说

主要问题：1.机器内部脏；2 材料预熔不充分；3 膜料不纯 K:}h\ In  

排除镜片没擦干净的影响外,往沉积速率有问题方向找原因.是什么问题造成沉积上去的是麻点颗粒而不是纳米级别的膜料.

iuggtg:排除镜片没擦干净的影响外,往沉积速率有问题方向找原因.是什么问题造成沉积上去的是麻点颗粒而不是纳米级别的膜料. (2017-06-20 21:52)  S*;#'j)4+  

J=b*  
同一罩出来有些镜片不会而有些镜片就会，这又是为什么，会和玻璃本身的吸附能力有关呢？

首先要看基片表面是否干净，如果干净的话就要从机台方面去考虑了；电子枪灯丝是否使用时间过久，材料预融的程度是否充分，机台内部是否有零部件掉膜，这些都会影响成膜的外观。这一部分检查完后，看看工艺了，充氧的气体纯度够不，电子枪预蒸镀参数设置是否合理，一般要求电流缓慢爬升，光斑慢慢减小。

我们这边镀ar膜也出现了，在灯光下看是一种反光的0.1mm～0.5mm的亮点