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    [求助]玻璃表面镀完膜后会产生类似麻点的均匀的灰点 [复制链接]

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    离线05俊
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2017-06-13
    玻璃表面镀完膜后会产生类似麻点均匀分布的灰点,不同材质的玻璃镀出来严重程度不一样。求大神分析原因
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 10楼 发表于: 2017-08-20
    第一要确认麻点是在膜层下,膜层中,还是膜层上。 .gJ2P?  
    是镀膜前就有的,还是镀膜中飞上去的,还是镀膜后粘上去的。 Y*c]C;%=  
    试着擦一下,能擦掉的是镀膜后粘上去的。 (t-hi8"  
    然后剥一下,看看剥下来还有没有剩下膜层。有剩下的就是镀膜中飞上去的。 X+;[Gc}(W  
    \1<'XVS  
    镀膜前发生的,解决方法有: TwkT|Piw S  
    彻底打扫机器,或者贴铝箔(每罩之间或者两三罩更换一下铝箔) DO: ,PZX  
    粗抽前的慢粗抽时间延长(一开始安全起见,抽到1000Pa后再打开主粗抽阀),慢粗抽阀开度调低。 <T_3s\  
    玻璃镀膜前放置区用离子风去除静电。玻璃镀膜前检查有无斑点。 MLWHO$C~T  
    ~qgh w@Q~  
    镀膜时发生的,检查一下膜料有无飞溅, 7_\sx7h{3  
    如果有,需要改善熔料,降低镀膜速率,或者改用其他厂家的膜料。 Nj>6TD81u  
    电子枪是什么牌子的,二次电子是否有影响(二次电子射击到玻璃上,会产生静电导致玻璃吸附小颗粒) :lB*kmg  
    { ptd OrN  
    镀膜后自己擦一下了。有需要的话延长慢泄气时间,减小慢泄气阀的开度。 eg;7BZim{  
    lMY\8eobcB  
    .C^P6S2oJ  
    离线田彪
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    只看该作者 9楼 发表于: 2017-08-18
    我们这边镀ar膜也出现了,在灯光下看是一种反光的0.1mm~0.5mm的亮点
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    只看该作者 8楼 发表于: 2017-07-22
    首先要看基片表面是否干净,如果干净的话就要从机台方面去考虑了;电子枪灯丝是否使用时间过久,材料预融的程度是否充分,机台内部是否有零部件掉膜,这些都会影响成膜的外观。这一部分检查完后,看看工艺了,充氧的气体纯度够不,电子枪预蒸镀参数设置是否合理,一般要求电流缓慢爬升,光斑慢慢减小。
    离线05俊
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    只看该作者 7楼 发表于: 2017-06-22
    回 iuggtg 的帖子
    iuggtg:排除镜片没擦干净的影响外,往沉积速率有问题方向找原因.是什么问题造成沉积上去的是麻点颗粒而不是纳米级别的膜料. (2017-06-20 21:52)  gN/!w:  
    0ca0-vY  
    同一罩出来有些镜片不会而有些镜片就会,这又是为什么,会和玻璃本身的吸附能力有关呢?
    离线iuggtg
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    只看该作者 6楼 发表于: 2017-06-20
    排除镜片没擦干净的影响外,往沉积速率有问题方向找原因.是什么问题造成沉积上去的是麻点颗粒而不是纳米级别的膜料.
    离线ysc212
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    只看该作者 5楼 发表于: 2017-06-20
    主要问题:1.机器内部脏;2 材料预熔不充分;3 膜料不纯 S\Z*7j3;M  
    离线05俊
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    只看该作者 4楼 发表于: 2017-06-13
    回 hit2011 的帖子
    hit2011:玻璃和膜层上都可能产生吧 (2017-06-13 09:22)  [GyPwb-  
    '\H & EJ'  
    膜层有关,怎么说
    离线05俊
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    只看该作者 3楼 发表于: 2017-06-13
    回 756340418 的帖子
    756340418:是白色灰点吗,可能离子源和中和器有问题了,需要保养了 (2017-06-13 09:11)  !Je!;mEvI  
    YWhS<}^  
    类似麻点,我用的是电子枪不是离子源
    离线hit2011
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    只看该作者 2楼 发表于: 2017-06-13
    玻璃和膜层上都可能产生吧