膜外⽩雾 NZLxHD]mp
现象:镀膜完成后,表⾯有⼀些淡淡的⽩雾,⽤丙酮或混合液擦拭,会有越擦越严重的现象。 :D6
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⽤氧化铈粉擦拭,可以擦掉或减轻,(⼜称:可擦拭压克) _Xc8Yg }`
分析:膜外⽩雾的成因较为复杂,可能的成因有: p!7FpxZY
① 膜结构问题:外层膜的柱状结构松散,外层膜太粗糙; OJuG~euy
② 蒸发⾓过⼤,膜结构粗糙。 KNvZm;Q6
③ 温差:镜⽚出罩时内外温差过⼤ Uw. `7b>B
④ 潮⽓;镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ =JEv,ZGT3
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 mbTEp*H
⑥ 蒸镀中充氧不完全,膜结构不均匀 ]Idk:et
⑦ 膜与膜之间的应⼒ ]Ji.Zk
改善思路:膜外⽩雾成因很多,但各有些特征,尽量对症下药。主要思路,⼀是把膜做的致密 i Dp)FQ$
光滑些不容易吸附,⼆是改善环境减少吸附的对象。 E)5\i-n
改善对策: wr/"yQA]
㈠ 改善膜系,外层加⼆氧化硅,使膜表⾯光滑,不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境(⼲燥、清 HZC"nb}r4
洁) ]Kt6^|S$a
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度(延长在真空室的冷却时间)减少温差、降低应⼒。 {0wIR_dGX
㈢ 改善充氧(加⼤),改善膜结构。 O|{d[eX
㈣ 适当降低蒸发速率,改善柱状结构 4K#>f4(U`g
㈤ 离⼦辅助镀膜,改善膜结构 5h=}j
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀(其功能是及时带⾛⽔汽) vjGo;+K
㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 yy^q2P
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 kW Ml
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 @sW24J1q+
膜内⽩雾 M#4pE_G
⽩雾形成在膜内,⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 _LEK%
可能的成因: _?m(V=z>
① 基⽚脏,附着前⼯程的残留物 XH 4
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 J s@hLP`
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 UT~4x|b:O
④ 氧化物充氧不够。 ; ; OAQ`
⑤ 基⽚进罩前(洗净后)受潮⽓污染 X1x#6
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⑥ 洗净或擦拭不良,洗净痕迹、擦拭痕迹 _ @NL;w:!
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 ArI2wM/v
⑧ 环境湿度⼤ ]___M
改善思路:基⽚本⾝的问题可能是主要的,镀膜是尽量弥补,镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 A@!qv#'
问题。 b.JuI
改善对策: )
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㈠改进膜系,第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 HSE!x_$
㈡尽量减少真空室开门时间,罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 N]Yd9tn{
㈢真空室在更换护板、清洁后,最好能空罩抽真空烘烤⼀下,更换的护板等真空室部件必须⼲ P6'1.R
燥、⼲净。 T= y}y
㈣改善环境 8yR.uMI$/
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚,免受污染。 `!;_ho
㈥改善洗净、擦拭效果。 / |;RV"
㈦改善膜匹配(考虑第⼀层⽤Al2O3) abmYA#
㈧改善膜充氧和蒸发速率(降低) r"3=44St
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 FF`T\&u
㈩抛光加⼯完成的光⾯,必须⽴即清洁⼲净,不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。