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[求助]玻璃镀膜后膜内起白雾，跪求大神们讨论产生原因 [复制链接]

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离线yzhuang

发帖: 339

光币: 3185

光券: 0

只看该作者 10楼发表于: 2017-06-27

H4与MgF2做的话很可能是镀前清洁的原因导致白雾，注意空气湿度不能太高

离线奔跑的小骏马

助理工程师

发帖: 258

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只看该作者 11楼发表于: 2017-07-22

原因可能有两个：
1、前道工序残留下来的镜片表面残留物；主要是抛光的残留的影响较大；
2、镀膜工艺问题，考虑充氧的多少、镀膜过程充氧的控制、镀膜过程是否异常放气。查看镀膜记录应该可以查到。

离线淡小疼

助理工程师

发帖: 266

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只看该作者 12楼发表于: 2017-07-24

感觉很有可能是h4时的充氧问题…

离线law2017

发帖: 15

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只看该作者 13楼发表于: 2017-07-25

学习经验

离线飘雨2008ydw

发帖: 11

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只看该作者 14楼发表于: 2017-07-27

认同是清洗后导致，或者装片如机的时候导致。

离线lzh123

发帖: 89

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只看该作者 15楼发表于: 2017-08-02

1. 基板自身问题，
2. 镀膜工艺问题

离线jyzgxf

发帖: 24

光币: 16

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只看该作者 16楼发表于: 2017-08-09

膜内白雾跟膜外白雾是怎么区分的，求指点

离线ouyuu

发帖: 555

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只看该作者 17楼发表于: 2017-08-21

没人觉得是散射吗？
问题还在结晶上，试着调整一下镀膜温度和速率，还有充氧。
其实有离子源会更好些。

离线gaofei5588

发帖: 105

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只看该作者 18楼发表于: 2017-12-07

1，基片有水汽或环境比较潮湿
2，基片有氧化层，抛光试下
3，工艺O2的摄入量

离线pyykun

助理工程师

发帖: 486

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只看该作者 19楼发表于: 2018-02-27

谢谢指教！