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    [求助]玻璃镀膜后膜内起白雾，跪求大神们讨论产生原因 [复制链接]

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    离线yzhuang
    论坛版主
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    只看该作者 10楼 发表于: 2017-06-27
    H4与MgF2做的话很可能是镀前清洁的原因导致白雾，注意空气湿度不能太高
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    离线奔跑的小骏马
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    只看该作者 11楼 发表于: 2017-07-22
    原因可能有两个： 3:Z(tM&-O  
    1、前道工序残留下来的镜片表面残留物；主要是抛光的残留的影响较大； wkJB5i^<w  
    2、镀膜工艺问题，考虑充氧的多少、镀膜过程充氧的控制、镀膜过程是否异常放气。查看镀膜记录应该可以查到。
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    离线淡小疼
    助理工程师
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    只看该作者 12楼 发表于: 2017-07-24
    感觉很有可能是h4时的充氧问题…
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    离线law2017
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    只看该作者 13楼 发表于: 2017-07-25
    学习经验
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    离线飘雨2008ydw
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    只看该作者 14楼 发表于: 2017-07-27
    认同是清洗后导致，或者装片如机的时候导致。
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    离线lzh123
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    只看该作者 15楼 发表于: 2017-08-02
    1.  基板自身问题， xeH# )QJt  
    2. 镀膜工艺问题
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    离线jyzgxf
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    只看该作者 16楼 发表于: 2017-08-09
    膜内白雾跟膜外白雾是怎么区分的，求指点
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    离线ouyuu
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    只看该作者 17楼 发表于: 2017-08-21
    没人觉得是散射吗？ B)|s.Ez  
    问题还在结晶上，试着调整一下镀膜温度和速率，还有充氧。 qXF"1f_+  
    其实有离子源会更好些。
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    离线gaofei5588
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    只看该作者 18楼 发表于: 2017-12-07
    1，基片有水汽或环境比较潮湿 CP'-CQ\Q  
    2，基片有氧化层，抛光试下 KJ~pY<a?  
    3，工艺O2的摄入量
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    离线pyykun
    助理工程师
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    只看该作者 19楼 发表于: 2018-02-27
    谢谢指教！
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