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HSL.002(4.0) RJ#xq#l 摘要:这个案例分析了由衍射扩散器元件实现的单色准分子激光光束的均匀化,最终生成一个圆形高帽。 sC8C><y
9~6FWBt 1.建模任务 !y8/El wKjL}1.k &x}a 2.光源参数 kWv)+ H.8f-c-4we
m=Z1DJG ~*Fbs! ;, LuM[*_8 • LED模型:Gaussian Type Planar Source(高斯型平面光源) qusX]Tstz • 光源平面直径:100μm×100μm {b|:q>Be8 • 空间相干长度:3μm×3μm ]Zfg~K( • 相应的发散角(HWHM):~0.89×0.89° tgu}^TfKkg • 波长:351nm 6cCC+*V{ T.1*32cX 3. 衍射扩散器透过率函数 p Rt=5WZ .t/XW++ D[.;-4"_ 一个衍射匀光元件,可以使用一个具有如下技术参数的衍射扩散器透过率函数来模拟: <2cl1Fb • Phase-Only元件 we<m%pf • 采样距离:5μm mL!)(Bb • 大小:640μm×640μm 'USol< • 相位级:8 n[jyhBf\W • 生成的目标模式:圆形高帽 -}l iG l;4},N
80X #V !n<vN@V*3d 4. 光源的辐射特性 V~V_+ 9{gY|2R_ _z:7Dj# 光源的辐射特征由光源平面尺寸以及以下参数定义: d"
T">Og) • 发散角 jU1 ([(?" • 空间相干长度 ?GdoB7(% • 或模式的腰束半径。 Mlr\#BO"9 ] m$;ra]
SxC CzP?J36W^ 5. 空间扩展光源建模 %3L4&W_T Cr?|bDv}o oy I8}s: • Gaussian Type Planar Source通过数个相同的横向偏移高斯模式,在光源的出射面以非相干的形式来模拟一个部分相干光源。 ?a~59!u • 对于这个案例,最终使用了11x11个足够多的横向模式来模拟光源。 {> T
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^Ge3"^x1 6.系统:光路图(LPD) h J*2q" • 在光源和扩散器元件之间,放置了一个焦距为20mm的理想透镜以用于光源的准直。 ;^waUJ\Z
• 衍射扩散器元件由Stored (Transmission) Function(存储(透过率)函数)表示,在此设置所设计的衍射扩散器的数据。 L&[uE;ro • 这个元件的设计和优化由衍射光学工具箱(Diffractive Optics Toolbox)完成。 jB+K)NXHL sdk%~RN0T W\JbX<mQ |9YY8oT. 7. 存储透过率函数 -YF]k}| )<_e{_h
Z=VAjJ;i[ 5Jo><P a • 对于规律的量化相位透过率函数,可以用存储函数元件中的缩放因子来模拟可能产生的加工偏差。 Nj8 `<Sl "~
1:7{k 8. 生成的谐波场集(光视图) K-%x]Fp= [,A*nU$ `Sh#>
Jp • 模拟结束后将返回一组谐波场集(HFS),其包含了目标平面上不同模式的电场复振幅分布。 1SddZ5 • HFS的相邻光视图显示了所有模式的 叠加。 T%GdvtmS> vM_UF{a$=
dso6ZRx .M3]\I u 9. 生成的谐波场集(数据视图) I[mlQmwsL. T$ <l<.Qd
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