一、引言 d5 7i)=
]n."<qxeT
电荷耦合器件（CCD）是以电荷为信号载体的传感器，属于集成光电传感器，主要应用于光电图像的传感。自从CCD于1970年首先在美国研制成功，它就一系列与众不同、无可比拟的优势就显示出来：灵敏度高、几何尺寸精确、光谱响应宽、动态范围大、操作容易、维护方便等。一般说来，CCD输出信号有以下几个特点: MY#
(1)能够输出与光像位置相对应的时序信号。 PjA6Ji ;Hu
(2)能够输出各个脉冲彼此独立相间的模拟信号。 uvP2 W g t
(3)能够输出反映焦点面信息的信号。 j h2t9SI~
我们将光源、光学系统与这三个特点相结合，可以实现尺寸的测量。而尺寸的测量在一些场合时非常有必要的，特别是高精度尺寸测量。在工业生产和科学实验中，经常碰到微小尺寸的检测问题，如细丝、薄板、狭缝等，不仅费时费力，而且精度较低，不便于实时检测、显示和控制，其应用范围也受到一定的限制⋯。近年来，利用线阵CCD进行无接触一维测量已经得到广泛应用。线阵CCD器件具有许多优点： 3psU ?8(
（1）非接触式，避免对所测器件的损伤。 5NoI ~X=
（2）高速测量，动态性能好，可以测高速机械运动的物体的尺寸。 u VyGk~
（3）空间分辨率高，可以实现高精度测量。 G)v
#+4
（4）空间自扫描可以实现量的绝对测量。 kHw_ S-
（5）可靠性高，可以在很恶劣的环境下工作。 R218(8S
（6）其线扫描输出的光电信号有利于其后续信号处理，便于同计算机组成高性能测控系统。 'R`tLN
^sN (
典型的CCD光电测试系统由光源、光学系统、CCD传感器、信号采集与处理电路以及后续处理系统组成。本文将介绍几种测量不同量级尺寸的方法，可以分为微小尺寸、中尺寸、大尺寸，并且给出了信号处理方法，重点是高性能微分电路的实现和二值化过程的实现。 4lhw3,5
evkH05+;W
...... M])dJ9&e
<Rh6r}f
全文见附件。 =0uAE7q(9
