|
案例024(3.0) +yVz)
X Zu_m$Mx 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 68*h#& 8PDt 7
\ 1. 建模任务1:金属光栅 V Z}^1e |UZ#2 ]V<[W,*(5 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 6;l{9cRgc 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 <o3e0JCq ]N:SB 2. 建模任务2:介质光栅 ?2
u_E " *["9;_KD 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 .2C}8GGC' 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 u<]-%ha$ G>M#
BuU 3. 建模任务 Qa5<go{ `*&*jdq&i c`#E# VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 tU}CRh 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 pez[qs 场分布计算能够检测结构内部的热点 O9r3^y\>I gkI(B2,/ 4. TE和TM照明线性光栅 (VO)
Q fS>W- 5. 铬狭缝的分析 KX"?3#U#Fm ]sd|u[:k j_L 'Ztu3 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 5H6m{ng 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 V.XHjHT 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 ZK27^oG 红线说明了结构的形状(手动添加) lV?rC z T8Gx oNm 6. 三角光栅的分析 Gk;==~ 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 d0Py[37V HN7(-ml=B QjWv?tm 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 MQ$[jOAqP 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 8do]5FE 红线说明了结构的形状(手动添加)。 ecA:y!N 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 glH&v8 Cl7IP<. 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 0F8y8s 红线说明了结构的形状(手动添加)。 8v8?D8\=| :2^%^3+V 7. 总结 ~=lm91W RgHPYf{ VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 |qH -^b.F 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 0vbn!<: 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 y"#o9"&>& 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 [< |