[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 ^ N]u  
=@b/Gl  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 vJkY  
[Q,E( s  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? ]|[,N>  
#RK?3?wcr  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 ?6B n&qa  
u"-q"0
 
P.S. `[V]xP%V  
sfez0Uqe.~  
AR與MGF2皆為EB製程 *axOen  
MyZ@I7Fb,  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M \H+/D &M  
n~\"W  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  v+A$CGH96  

Q-fi(UP  
我用的材料為石英 SDpaW6(_  
1?sR1du,  
您說的沒錯 AGkk|`  
o,(MB[|hQ  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 KW|X\1H  
vQ"EI1=7Z  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  Rr+Y::E  

mwLp~z%OX  
我用的材料為石英 e!wBNcG2  
>v^Bn|_/  
您說的沒錯 i9fK`:)  
w.exLC  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 P<yd  
.n]P6t  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了