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    [求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

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    离线rexchou
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2016-04-29
    此帖悬赏结束
    最佳答案:5 光币,最佳答案获得者:yangyangyang
    最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 oN\IQ7oI  
    &O:IRR7p  
    若無鍍MGF2則無此現象,推估為MGF2造成 Fzc8)*w  
    #BZ2%\  
    不知道是為什麼,且放一段時間會消失(約3~7天),有人有預過這種情況嗎?? >$RQ  
    S1Nwm?z  
    希望有人可以告訴我,或者提供意見交流 M:9 6QM~  
    +' lj\_n  
    P.S. \@}G'7{  
    QQPT=_P]  
    AR與MGF2皆為EB製程 !pqfx93R*  
    D\ ;(BB  
    膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M iaAj|:  
    L^{1dVGWNa  
    起鍍真空為5E-4pa
     
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    离线yangyangyang
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    只看该作者 1楼 发表于: 2016-05-05
    最佳答案奖励:+5 光币
    从你发的来看,应该问题是出在放气阶段产生的,你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下,我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅,优化一下膜系实验一下
    离线贾松山
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    只看该作者 2楼 发表于: 2016-05-27
    热心助人奖励:+1 光币
    氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的,举例说当最外层氟化镁少时,用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下,
    离线rexchou
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    只看该作者 3楼 发表于: 2016-05-09
    回 yangyangyang 的帖子
    yangyangyang:从你发的来看,应该问题是出在放气阶段产生的,你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下,我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅,优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  &e6!/y&  
    ;EB^1*A Ew  
    我用的材料為石英 F;L8FL-  
    *N&~Uq^  
    您說的沒錯 VTwDa*]AhB  
    9Wv}g"KY0  
    最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 f}t8V% ^E  
    ='t}d>l  
    已經確認放氣時間拉長無法改善此問題
    离线rexchou
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    只看该作者 4楼 发表于: 2016-05-09
    回 yangyangyang 的帖子
    yangyangyang:从你发的来看,应该问题是出在放气阶段产生的,你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下,我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅,优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  9a]{|M9  
    _X|prIOb=  
    我用的材料為石英 s"XwO8yhM  
    S=gb y  
    您說的沒錯 &1Cs'  
    84!Hd.H  
    最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 { V) `6  
    $A`m8?bY  
    已經確認放氣時間拉長無法改善此問題
    离线jakzhou
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    只看该作者 5楼 发表于: 2016-05-24
    好东西
    离线jakzhou
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    只看该作者 6楼 发表于: 2016-05-27
    什么呀
    离线jakzhou
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    只看该作者 7楼 发表于: 2016-06-02
    ipnuk 泥浆中
    离线长江
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    只看该作者 8楼 发表于: 2016-07-28
    是个好方法
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    只看该作者 9楼 发表于: 2017-04-07
    好东西,学习了