[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 *G&3NSM-  
:q34KP  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 vX;~m7+  
A<p6]#t#X)  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? &zV;p  
$*$X5  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 R1?LB"aN  
K#;EjR4H  
P.S. ^~`t q+  
8," 5z_  
AR與MGF2皆為EB製程 ?s]+2Tq  
$+WMKv@<  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M }rA _4%  
Lq#$q>!K  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  76j5  

+=&A1{kR3  
我用的材料為石英 Kb5 YA  
KOHYeiry~A  
您說的沒錯 2c4x=%  
eV)'@8p
 
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 #I] ^Wo  
qmWn$,ax  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  1q7Y,whp  

~aZy52H_#.  
我用的材料為石英 2uln)]  
VsJ4sb7  
您說的沒錯 "ytPS~  
RL|d-A+;  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 0!fT:Ra  

6 J B"qd  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了